产品型号
厂商性质
经销商更新时间
2026-08-05浏览次数
95产品描述
现货EBARA 荏原 ESA25XW 干式真空泵属于 ESA 系列大抽速水冷干式真空泵，多级罗茨无油结构，面向大容积腔体快速抽空，兼顾氢气、氦气等轻质气体抽取能力。整机水冷散热，支持 7×24 小时连续量产运行，机身布局紧凑，适配产线机房布置，可配置氮气反吹抑制泵腔粉末沉积，降低维护频次，多用于半导体、光电、新能源大腔体真空制程。
产品型号
厂商性质
经销商更新时间
2026-08-05浏览次数
107产品描述
现货EBARA 荏原 ESA25‑D 干式真空泵属于 ESA 系列外延专用干式真空泵，为中型外延工艺机型，针对氢气、氦气等轻质气体抽取做专项优化，无油干式罗茨结构，水冷散热，适配 MOCVD、中型 Load‑Lock 腔体等洁净真空制程。机身结构紧凑，适配产线机房布置，支持 7×24 小时连续量产运行，可搭配氮气反吹抑制泵内沉积物，降低维护频次，广泛用于半导体、光电芯片量产产线。
产品型号
厂商性质
经销商更新时间
2026-08-05浏览次数
94产品描述
现货EBARA 荏原 ESA15‑D 干式真空泵EBARA 荏原 ESA15‑D属于 ESA 系列外延专用干式真空泵，紧凑型机身设计，专门针对氢气、氦气等轻质气体抽取优化，无油干式罗茨结构，水冷散热，适配 MOCVD、小型 Load‑Lock 腔体等洁净真空制程。整机体积小巧，占用空间少，支持长时间连续量产运行，可搭配氮气反吹抑制内部沉积物，降低维护频次，适合半导体、光电研发及中小规模量产产线使用
产品型号
厂商性质
经销商更新时间
2026-08-26浏览次数
118产品描述
EBARA 荏原 EV‑SA50 风冷罗茨干式真空泵 型号：EV‑SA50 泵体结构：多级罗茨无油干式结构 版本：标准款 冷却方式：风冷，无需冷却水 抽气速率：5000 L/min 极限真空：0.5‑3.0 Pa（气镇关闭）；1.0‑5.0 Pa（气镇开启） 供电：单相 / 三相 200‑240V，50/60Hz，电压允许波动 ±10% 通讯接口：RS485，支持报警历史记录、温度监控、远程状态读
产品型号
厂商性质
经销商更新时间
2026-08-26浏览次数
129产品描述
EBARA 荏原 EV‑SA30 风冷罗茨干式真空泵 型号：EV‑SA30 泵体结构：多级罗茨无油干式结构 版本：标准款 冷却方式：风冷，无需冷却水 抽气速率：3000 L/min 极限真空：0.5‑3.0 Pa（气镇关闭）；1.0‑5.0 Pa（气镇开启） 供电：单相 / 三相 200‑240V，50/60Hz，电压允许波动 ±10% 通讯接口：RS485，支持报警历史记录、温度监控、远程状态读
相关文章
