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EBARA 荏原 EV‑S100 罗茨干式真空泵EV‑S100 是 EBARA 荏原 EV‑S 系列大流量紧凑型干式真空泵，无油水冷机型，面向半导体、面板、光伏量产产线洁净轻负载工艺。整机结构紧凑，直流变频驱动，具备怠速休眠节能功能，大气压直抽，无需前置泵，适配大尺寸负载锁腔体、传输腔、大中型 PVD 溅射等高排气量洁净工艺场景。
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EBARA 荏原 EV‑S50N 罗茨干式真空泵 冷却方式：水冷，冷却水流量 2.0‑3.0L/min 吹扫配置：内置氮气吹扫通路，吹扫流量 17‑20L/min 供电：三相 AC200‑460V 50/60Hz 通讯：RS485 接口，温度监控、报警历史记录、远程状态读取 认证：SEMI‑S2、CE、NRTL 吸气口径：NW50，排气口径 NW25 整机重量：103kg
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EBARA 荏原 EV‑S50P 罗茨干式真空泵 型号：EV‑S50P 泵体结构：多级罗茨无油干式结构 版本：P 款，铝合金腔体 + 内置氮气吹扫 抽气速率：5000 L/min 极限真空：≤5.0 Pa 冷却方式：水冷，冷却水流量 2.0‑3.0L/min 吹扫配置：内置氮气吹扫通路，吹扫流量 17‑20L/min 供电：三相 AC200‑460V 50/60Hz
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EBARA 荏原 EV‑S50 罗茨干式真空泵 型号：EV‑S50 泵体结构：多级罗茨无油干式结构 版本：标准基础款，无氮气吹扫 抽气速率：5000 L/min 极限真空：≤0.5 Pa 冷却方式：水冷，冷却水流量 2.0‑3.0L/min 供电：三相 AC200‑460V 50/60Hz
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EBARA 荏原 EV‑S30P 罗茨干式真空泵 型号：EV‑S30P 泵体结构：多级罗茨无油干式结构 版本：P 款，内置氮气吹扫 抽气速率：3300 L/min 极限真空：≤5.0 Pa 冷却方式：水冷，冷却水流量 1.5‑3.0L/min 吹扫配置：内置氮气吹扫通路，吹扫流量 17‑20L/min 供电：三相 AC200‑460V 50/60Hz
