简要描述：现货EBARA 荏原 ESA25‑D 干式真空泵属于 ESA 系列外延专用干式真空泵，为中型外延工艺机型，针对氢气、氦气等轻质气体抽取做专项优化，无油干式罗茨结构，水冷散热，适配 MOCVD、中型 Load‑Lock 腔体等洁净真空制程。机身结构紧凑，适配产线机房布置，支持 7×24 小时连续量产运行，可搭配氮气反吹抑制泵内沉积物，降低维护频次，广泛用于半导体、光电芯片量产产线。

产品概述

核心特点

1. 无油洁净干式结构全程无油压缩设计，泵腔无润滑油污染，保障制程高洁净度；标配可控氮气反吹系统，有效抑制粉尘、副产物堆积，大幅延长保养周期，减少停机维护频次。
2. 轻气体抽吸性能优异针对氢气、氦气等轻质气体优化设计，抽气效率高、极限真空稳定，专属外延机型是 MOCVD 工艺的主流配套设备，适配各类精密外延制程。
3. 多版本防腐适配配备标准腔体与镍合金耐蚀腔体版本，可应对常规洁净工艺与微量腐蚀性气体工况；可选有机溶剂适配组件，适配镀膜、挥发类介质工艺。
4. 智能节能运行搭载自适应转速调控系统，可根据工艺气体负载自动调节运转转速，高负载稳运行、低负载怠速降能耗，长期量产工况下节能明显。
5. 水冷恒温稳定运行一体式水冷散热结构，散热均匀高效，长时间连续作业不易升温过热，热稳定性强，适配产线高频次、不间断抽真空作业。
6. 低噪低振、集成性强机身结构紧凑，占地面积小，产线布局灵活；运行振动小、噪音低，适配精密无尘车间环境。自带工况监测、故障记忆、连锁保护功能，支持外接通讯联控，适配自动化产线配套。

通用技术参数

• 泵体类型：多级罗茨无油干式真空泵

• 冷却方式：水冷式

• 极限压力：5Pa

• 工作电压：三相宽电压适配 200V‑460V

• 机型分类：标准 W 型、镍合金耐蚀 WN 型、外延专用 D 型

• 抽速范围：1400‑80000L/min

• 适配工况：洁净、轻度腐蚀、轻气体、大腔体快速抽空工艺

工作原理

典型应用场景

选配配件