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CRYO-U30H- -
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2026-08-31 -
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产品描述
ULVAC 爱发科CRYO-U30H双冷头大抽速冷泵CRYO‑U30H 为两级 GM 冷头式闭循环低温冷冻泵，H 标准通用旗舰型号，VG‑750 超大口径法兰，双冷头结构，全系列最大抽速，面向超大型 FPD、半导体、空间模拟腔体。依靠低温冷凝吸附获得洁净无油高真空，运行无需液氦耗材。
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CRYO-U30H-厂商性质
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CRYO-U22H-厂商性质
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CRYO-U22WB-厂商性质
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ULVAC 爱发科CRYO-U22WB大抽速冷泵CRYO‑U22P 为两级 GM 冷头式闭循环低温冷冻泵，P 为高抗热负荷版本，UVG‑550 超大口径法兰，可承受大工艺气体通入流量，适配 FPD、半导体超大尺寸量产镀膜腔体。依靠低温冷凝吸附获得洁净无油高真空，运行无需液氦耗材
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ULVAC 爱发科CRYO-U22P大抽速冷泵CRYO‑U22P 为两级 GM 冷头式闭循环低温冷冻泵，P 为高抗热负荷版本，UVG‑550 超大口径法兰，可承受大工艺气体通入流量，适配 FPD、半导体超大尺寸量产镀膜腔体。依靠低温冷凝吸附获得洁净无油高真空，运行无需液氦耗材
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CRYO-U20H-厂商性质
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ULVAC 爱发科CRYO-U20H大抽速冷泵CRYO‑U20H 为两级 GM 冷头式闭循环低温冷冻泵，H 为标准通用版本，UVG‑500 超大口径法兰，大抽速性能，面向 FPD、半导体大型量产镀膜腔体，依靠低温冷凝吸附获得洁净无油高真空，运行无需液氦耗材。
