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CRYO-U20P- -
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2026-08-31 -
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ULVAC 爱发科CRYO-U20P闭循环低温冷冻泵CRYO‑U20P 为两级 GM 冷头式闭循环低温冷冻泵，P 为高抗热负荷版本，UVG‑500 超大口径法兰，气体处理能力强，面向 FPD、半导体大型量产镀膜腔体，依靠低温冷凝吸附获得洁净无油高真空，运行无需液氦耗材
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ULVAC 爱发科CRYO-U20P闭循环低温冷冻泵CRYO‑U20P 为两级 GM 冷头式闭循环低温冷冻泵，P 为高抗热负荷版本，UVG‑500 超大口径法兰，气体处理能力强，面向 FPD、半导体大型量产镀膜腔体，依靠低温冷凝吸附获得洁净无油高真空，运行无需液氦耗材
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CRYO-U16P-厂商性质
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ULVAC 爱发科CRYO-U16P闭循环低温冷冻泵CRYO‑U16P 为两级 GM 冷头式闭循环低温冷冻泵，P 代表高抗热负荷强化版本，UVG‑400 大口径法兰，相比标准 CRYO‑U16，允许更高工艺气体流量，适配大型量产镀膜腔体。依靠低温冷凝吸附获取洁净无油高真空，运行无需液氦耗材
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CRYO-U16-厂商性质
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ULVAC 爱发科CRYO-U16闭循环低温冷冻泵CRYO‑U12HSP 为两级 GM 冷头闭循环低温冷冻泵，SP 溅射强化专用版本，UVG‑300 法兰，氩气吸附容量约为标准 CRYO‑U12H 的 2 倍，氢气抽速同步提升，适配中大腔体大氩气流量磁控溅射产线。依靠低温冷凝吸附获得洁净无油高真空，运行无需液氦耗材。
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ULVAC 爱发科CRYO-U12HSP闭循环低温冷冻泵CRYO‑U12HSP 为两级 GM 冷头闭循环低温冷冻泵，SP 溅射强化专用版本，UVG‑300 法兰，氩气吸附容量约为标准 CRYO‑U12H 的 2 倍，氢气抽速同步提升，适配中大腔体大氩气流量磁控溅射产线。依靠低温冷凝吸附获得洁净无油高真空，运行无需液氦耗材
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CRYO-U12HL-厂商性质
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ULVAC 爱发科CRYO-U12HL闭循环低温冷冻泵CRYO‑U12HL 为两级 GM 冷头式闭循环低温冷冻泵，HL 大吸附容量长周期版本，UVG‑300 法兰，氩气存储容量相比标准 CRYO‑U12H 提升，延长连续运行周期，减少热再生频次。依靠低温冷凝吸附获取洁净无油高真空，运行无需液氦耗材
