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CRYO-U12H-厂商性质
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2026-08-31浏览次数
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ULVAC 爱发科CRYO-U12H闭循环低温冷冻泵CRYO‑U12H 为两级 GM 冷头式闭循环低温冷冻泵，UVG‑300 大法兰规格，抽气流量大，面向中大尺寸量产真空腔体，无需液氦耗材，依靠低温冷凝与吸附获取洁净无油高真空。泵本体不可单独运行，需搭配对应氦压缩机组；可外接测温组件监测冷头温度，支持手动、PLC 远程热再生控制。
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CRYO‑U10HSP-厂商性质
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49产品描述
ULVAC 爱发科CRYO‑U10HSP闭循环低温冷冻泵CRYO‑U10HSP 为两级 GM 冷头闭循环低温冷冻泵，SP 为溅射工艺专用版本，氩气吸附容量为标准款 CRYO‑U10H 的 2 倍，适配大氩气流量溅射产线。ISO250 法兰规格，运行无需液氦耗材，依靠低温冷凝吸附获取洁净高真空
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CRYO-U10H-厂商性质
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54产品描述
ULVAC 爱发科CRYO-U10H闭循环低温冷冻泵CRYO‑U10H 为两级 GM 冷头式闭循环低温冷冻泵，ISO250 法兰规格，依靠低温冷凝、吸附获得洁净高真空，运行无需液氦耗材。抽气能力相比 U8H 进一步提升，适配中等尺寸量产腔体，广泛用于溅射、蒸镀类工艺。
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CRYO-U8HSP-厂商性质
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61产品描述
ULVAC 爱发科CRYO-U8HSP闭循环低温冷冻泵CRYO‑U8HSP 为两级 GM 冷头闭循环低温冷冻泵，SP 代表溅射工艺专用版本，针对氩气环境做专项优化，氩气吸附容量大幅提升，适配高频溅射工况。ISO200 法兰规格，运行无需液氦耗材，依靠低温冷凝吸附获取洁净高真空
产品型号
CRYO-U8HL-厂商性质
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57产品描述
ULVAC 爱发科CRYO-U8HL闭循环低温冷冻泵CRYO‑U8HL 属于两级 GM 冷头闭循环低温冷冻泵，HL 代表大吸附容量长周期版本，增大气体存储容量，延长两次再生之间的运行时长，减少停机维护频次。ISO200 法兰规格，无需液氦耗材，依靠低温冷凝吸附获取洁净高真空。
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