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Osaka Vacuum 大阪真空涡轮分子泵TG2810 属于 TG 系列标准型油润滑滚珠轴承涡轮分子泵，适配洁净惰性气体工况，大抽速输出，标配水冷散热，适合大容积腔体长时间连续量产作业，多用于半导体、FPD 面板、大型科研真空装置。同规格可选用 TG2813 化学对策版本，应对部分腐蚀性工艺气体。
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Osaka Vacuum 大阪真空 TG1813 涡轮分子泵TG1813 属于 TG 系列化学对策型油润滑滚珠轴承涡轮分子泵，泵体流道与叶片做防腐涂层处理，适配部分腐蚀性工艺气体，标配水冷散热，大抽速输出，适合大容积真空腔体长时间连续量产作业，多用于半导体刻蚀、FPD 面板以及大型科研真空装置。
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Osaka Vacuum 大阪真空 TG1303 涡轮分子泵。TG1303 属于 TG 系列化学对策型油润滑滚珠轴承涡轮分子泵，泵体流道与叶片做防腐涂层处理，适配部分腐蚀性工艺气体，标配水冷散热，大抽速输出，适合大容积真空腔体长时间连续量产作业，多用于半导体刻蚀、FPD 面板及大型科研真空装置。
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Osaka Vacuum 大阪真空 TG1003 涡轮分子泵TG1003 属于 TG 系列化学对策型油润滑滚珠轴承涡轮分子泵，泵体流道与叶片做防腐涂层处理，适配部分腐蚀性工艺气体，水冷散热，大抽速输出，适合大容积真空腔体长时间连续量产作业，多用于半导体刻蚀、FPD 及大型科研真空装置。
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Osaka Vacuum 大阪真空 TG553 涡轮分子泵TG553 属于 TG 系列化学对策型油润滑滚珠轴承涡轮分子泵，泵体做防腐处理，适配部分腐蚀性工艺气体，水冷散热，适合中大型真空腔体长时间连续生产作业，广泛应用于半导体制程、镀膜设备以及科研真空装置。
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