日本原装 EV‑X30N 干式真空泵全新到货｜现货库存直发

更新时间：2026-08-05

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EBARA 荏原 EV‑X30N 小型半导体级无油干式真空泵全新入库，整机日本生产，现货库存充足，能够快速响应项目订单，解决进口设备订货周期漫长引发的项目延期问题，是小型半导体制程、分析仪器、精密真空设备理想的前级真空泵。

EV‑X30N 面向轻‑中等负荷真空工况设计，采用全无油干式螺杆结构，泵腔内部无润滑油参与工作，整机采用风冷散热模式，无需水冷机组与水路管线配套，大幅简化现场安装条件，设备摆放不受基建条件约束。规避油雾反流造成腔体污染，持续输出高洁净真空，满足精密工艺对内部洁净度的严格要求。

转子采用非接触式精密运转结构，运转部件无直接摩擦，运行不会产生粉尘杂质。对比传统油旋片泵，省去定期更换泵油、油雾过滤器等保养工序，减少后期维护工时与耗材投入。机身高度紧凑小巧，占用空间少，既可以机架独立放置，也可直接内嵌集成于整机设备内部，非常适合设备内置化配套需求。

整机经过减振降噪优化，运行振动幅度低，噪音表现优异，不会干扰质谱、电子显微镜、光学检测等精密仪器正常工作。支持 50Hz/60Hz 电网通用，国内工业现场通电即可使用，无需额外加装变频装置。内置完整电控保护系统，具备过载保护、超温报警、故障信号输出，可对接上位机实现状态监控，降低突发停机带来的生产损耗。面对含有微量腐蚀性气体工况，可选配氮气吹扫、防腐强化组件，拓展工艺适用能力。

主要应用于半导体装载锁、等离子清洗、小型 PVD 设备、真空检漏仪、质谱分析仪器、电子显微镜、高校科研真空腔体等场景，可直接替换小型油旋片泵、老旧涡旋干泵，提升真空洁净度，降低设备全周期运行成本。

本次到货全部为日本原装全新整机，性能参数稳定统一，现货可支持样机验证、设备配套、批量项目采购，缩短客户项目等待周期。