EBARA 荏原 EMT/EBT 系列复合涡轮分子泵
更新时间：2026-07-25
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EBARA 荏原 EMT、EBT 系列为复合式涡轮分子泵，是实现高真空、超高真空工况核心主抽泵。EMT 为磁悬浮轴承型，EBT 为陶瓷滚珠轴承型，覆盖宽广抽速区间，支持空冷 / 水冷、控制器一体 / 分离多种配置，广泛配套半导体设备、分析仪器、镀膜设备，适配洁净超高真空制程。
产品核心特点
两种轴承方案灵活选型
EMT 磁悬浮轴承：无机械接触、振动极低、使用寿命长，适合对震动敏感、长期不间断运行、超高真空精密工况；
EBT 陶瓷滚珠轴承：结构坚固、性价比高，耐受突发大气冲击，适配移动式真空平台、常规科研与工业高真空场景。两种机型均可任意姿态安装。
复合转子结构，轻气体压缩性能优异
复合叶轮设计，氮气、氢气压缩比高，极限真空表现出色，轻松实现高真空 / 超高真空区间稳定抽气，可匹配干式真空泵作为前级泵配套使用。
冷却方式可选，部署灵活
支持风冷、水冷两种散热方案；可选一体式内置控制器，简化布线，减少外部配件占用空间。具备网络通讯接口，支持远程监控、故障报警，便于集成自动化真空系统。
丰富定制选配
可提供耐腐蚀涂层、高温烘烤规格，适配含微量腐蚀性气体工况；产品满足 SEMI-S2、CE 标准，可用于半导体洁净厂房、海外设备配套。
洁净无油真空输出
泵体内部无润滑油挥发，不会对腔体、样品造成碳氢污染，满足表面分析、电子显微镜、薄膜制备等高洁净真空需求。
主流型号参考
EBT（陶瓷轴承系列，单位 L/s）
EBT70F、EBT220F、EBT240F、EBT350F、EBT450F、EBT800F、EBT1100F、EBT1400F、EBT2400F
EMT（五轴磁悬浮轴承系列，单位 L/s）
EMT397M、EMT907M、EMT1307M、EMT2400M、EMT1700MK、EMT2200MK、EMT3300MK、EMT4200MK
典型应用领域
✅分析仪器：SEM 扫描电镜、TEM 透射电镜、XPS、AES、氦质谱检漏仪✅半导体行业：晶圆检测设备、小型沉积腔体、MEMS 加工、量测设备✅光学与镀膜：光学薄膜蒸镀、磁控溅射、电子束蒸发设备✅科研实验室：超高真空腔体、束线装置、材料物性测试、空间模拟装置✅光电光伏：LED、光伏器件研发真空制程
选型说明
追求超低振动、超长寿命、精密设备优先选择EMT 磁悬浮型号；预算适中、设备允许少量维护、需要耐受频繁充气冲击，选择EBT 陶瓷轴承型号。使用时必须搭配荏原 EV-PA/EV-SA/EV-A 系列干式真空泵作为前级泵组成真空机组。
选购提示
本店供应 EBARA 荏原 EMT、EBT 涡轮分子泵，配套驱动器、线缆可选，支持技术选型、真空机组成套方案，可提供样本性能曲线，支持对公采购。
