EBARA 荏原 ESA 系列水冷多级罗茨干式真空泵

更新时间：2026-07-25

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EBARA 荏原 ESA 系列为水冷式无油干式罗茨真空泵，专为大流量工况、氢气等轻质气体抽气优化，是半导体 MO-CVD 外延、LED、光伏、大型真空腔体量产产线主力干泵，支持 7×24 小时连续工艺运行，兼顾耐腐蚀、高负载、智能节能特性。

核心技术优势

全无油干式结构，保障工艺洁净度
多级罗茨非接触转子结构，泵腔无润滑油，杜绝油雾返流污染腔体与晶圆，满足半导体洁净制程要求。标配可控氮气吹扫系统，适配连续工艺排气工况。
轻气体优异抽气性能，MO‑CVD 机型
针对氢气、氦气等轻质气体优化压缩结构，氢气流速表现突出，ESA25‑D、ESA70W 系列大量应用于 MOCVD 外延设备；适配腔体频繁循环抽真空、大容积快速抽空需求。
水冷稳定散热，适配长时间量产运行
整机水冷散热，热负载控制稳定，适合工厂洁净车间不间断连续生产；可选标准型 W、耐蚀 WN 镍合金腔体版本，应对含微量腐蚀性工艺气体。
智能变频转速自适应，降低综合能耗
搭载负荷感应调速系统，根据工艺气体流量自动调节转子转速，减少空载功耗；内置液晶控制器，存储报警履历、故障记录，支持远程通讯对接产线控制系统。
成熟耐腐蚀机身，长周期稳定运行
泵体采用耐蚀 NiResist 铸铁基材，WN 版本强化防腐能力；可选有机溶剂排气套件，适配含有机蒸气工艺；整机符合 SEMI‑S2、CE 规范，满足半导体厂房准入标准。

ESA25‑D：抽速 3000L/min (50Hz)，极限真空 1Pa

ESA70W‑D / ESA70WN‑D：抽速 7000L/min (50Hz)，极限真空 0.27Pa

ESA100W：抽速 10000L/min (50Hz)，极限真空 0.4Pa

ESA200W：抽速 20000L/min (50Hz)

ESA300W、ESA500W、ESA700W（超大流量机型，适配大型 FPD、光伏腔体）

✅半导体行业：MO‑CVD、EPI 外延、大型 Load Lock 传输腔、PECVD 沉积设备

✅LED / 光电子：LED 外延生长、化合物半导体工艺

✅光伏产业：薄膜沉积、大型真空腔体抽气

✅面板 FPD：LCD/OLED 溅射、大型腔体快速抽空

✅科研工业：大容积真空系统、氢气工艺、中型真空镀膜

ESA 为水冷大流量工艺干泵，区分标准 W 型与防腐 WN 型；工艺含腐蚀气体优先选用 WN 防腐版本。

对比 EV‑SA 风冷系列：ESA 抽速更大、支持重负载量产工况，需要配套冷却水；EV‑SA 为风冷小型机型，适合实验室、研发样机轻负荷场景。

本店供应 EBARA 荏原 ESA 系列干式真空泵，支持标准款、防腐 WN 款选型，配套管路、控制方案可提供，可提供产品样本与性能曲线，支持对公采购。