FLUORO 福乐 F 系列 弹出释放型防腐真空镊子（真空吸笔）介绍

FLUORO（日本福乐）F 系列为全氟树脂防腐型真空拾取工具，行业俗称真空镊子、真空吸棒，F007 为该系列弹出吹气释放主力型号，面向半导体湿法制程开发，专门用于硅晶圆、化合物晶圆、超薄晶圆在酸碱药液、有机溶剂环境下无损转运，是湿法清洗、蚀刻、剥离、晶圆浸泡工艺标配工具，和 C 系列导电防静电真空吸笔形成干法 / 湿法互补产品线。

整机主体采用 PTFE 特氟龙一体成型，具备耐化学腐蚀能力，可长期接触、盐酸、硫酸、各类显影液、剥离液、光刻溶剂，不会出现溶胀、析出微粒、被药液侵蚀污染晶圆的问题。区别于常规自重落料款式，弹出释放版本搭载原厂 DuoVac 双路阀组，实现负压吸附 + 低压正压吹气释放一体化控制。常态下持续保持真空负压稳定抓取晶圆；按下阀体按钮，立刻切断真空，同步通入洁净干燥氮气或压缩空气，柔和气流将晶圆平稳弹出卸料，消除液体表面张力、残余真空带来的粘片难题，杜绝超薄晶圆取放时崩边、划痕、碎片，大幅提升湿法工序良率。松开按钮自动恢复负压，无需反复启停真空源，连续上下料操作流畅高效。

吸嘴支持多样化选配，主流材质包含 PCTFE、PEEK、Vespel，接触面经过光学级抛光处理，接触晶圆表面颗粒生成量极低；覆盖 2～3 英寸、4 英寸、5 英寸、6 英寸、8 英寸、12 英寸全规格晶圆适配吸嘴。结构分为固定接头、球头万向旋转接头、夹套式接头三种形态，万向款可灵活调整拾取角度，适配药液槽狭小空间作业；吸杆长度多规格可选，匹配不同深度浸泡槽体。阀体内部流道经过精密抛光，减少流体湍流与颗粒物产生，满足洁净室 Class100/Class1000 环境使用标准。

选型区分清晰：F 系列全 PTFE 材质主打湿法耐化学场景；C 系列导电尼龙机身，侧重干法产线防静电拾取。同系列内部型号分工明确：F001 点动吸附、F002 常吸断气自重落料、F003 吸力自锁款、F007 弹出吹气释放型。针对薄晶圆、浸泡后容易粘附载台的工况，优先选用 F007 弹出释放结构；厚晶圆常规湿法转运可选择 F002 基础款。弹出释放机型需要搭配双回路真空压力源 FV-W 真空泵，同时提供负压与正压气源。

整套方案可配套真空主机、洁净气管、立式放置支架、备用吸嘴、密封备件。可提供整机、替换吸嘴、阀体维修配件，支持规格选型试样，面向晶圆厂、半导体封测实验室、湿法工艺研发产线。