EBARA 荏原EV-A10风冷无油干式真空泵介绍

更新时间：2026-07-29

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EBARA 荏原 EV-A10 为风冷多级罗茨干式真空泵，主打大气区间高效抽气，无需冷却水，全无油洁净真空，适配频繁破真空、反复大气抽放工况，是半导体 Load Lock、分析仪器、锂电设备、实验室中大流量洁净真级泵优选。

核心技术优势

全无油干式结构，真空洁净无污染
采用非接触多级罗茨转子设计，泵腔内部无需润滑油，杜绝返油、油雾污染，保护腔体、样品不被碳氢杂质影响，满足精密制程洁净要求。标配气镇阀，最大可处理 500g/h 水蒸气，适配含水汽抽气工况。
一体式风冷设计，安装部署简单
整机空气冷却，无需铺设冷却水管道，仅接入电源即可运行。支持单相 / 三相 200~240V 供电，50/60Hz 下性能保持一致，厂房、实验室无供水条件也可直接使用。标配带锁脚轮与调平底座，移动摆放灵活。
大气抽气性能突出，抽空效率高
大气压区间抽速表现优异，适合腔体频繁破真空、循环抽真空场景，快速从大气压抽至目标真空，对比同规格干泵缩短循环作业时长。
长周期稳定运行，运维成本低
转子无接触运转，无易磨损滑片、密封件，无需频繁更换油品、耗材，支持 24 小时连续运转，减少停机维护时间，长期使用综合成本更低。整机低噪音、低振动，适配对震动敏感的精密设备。
标准化信号接口，支持自动化集成
预留状态监测、故障报警输出端口，方便对接设备控制系统，适配 OEM 整机配套。产品满足 SEMI-S2、CE 规范，洁净车间、海外设备配套均可合规使用。

EV-A10

最大抽速：1000L/min

大气压抽速：800L/min

极限真空：气镇关闭 1.0Pa；气镇开启 2.0Pa

进气接口：NW40

排气接口：NW40

重量：75kg

供电：单相 200-240V（EV-A10-2S）/ 三相 200-240V（EV-A10-3S）

✅半导体行业：晶圆 Load Lock 传输腔体、等离子清洗、小型镀膜设备、芯片封装真空系统

✅分析仪器：质谱设备、扫描电镜、氦质谱检漏仪前级真空

✅新能源锂电：真空干燥、注液预抽、电芯真空封装

✅科研实验室：中型真空腔体、真空脱泡、材料物性测试、小型真空烧结

EV-A10 定位中大流量风冷干泵，抽速高于 EV-SA20，适合需要频繁大气启动、循环抽空的工况；优先用于无大量粉尘、强腐蚀性气体的洁净抽气场景。若需要处理高腐蚀气体，可选择特殊流道定制版本。对比水冷干泵，省去水路配套，前期基建投入更低。

本店供应 EBARA 荏原 EV-A10 干式真空泵，区分单相 2S、三相 3S 版本，可提供技术选型、管路配套方案，现货咨询，可提供产品样本与性能曲线，支持对公采购。