EBARA 荏原 EV-SA系列风冷无油多级罗茨干式真空泵介绍

更新时间：2026-07-29

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EBARA 荏原 EV-SA 系列为风冷式多级罗茨无油干泵，依托非接触转子结构，无需冷却水配套，提供高洁净真空环境，主打低能耗、低振动、长周期免维护，广泛用于半导体 Load Lock 腔体、分析仪器、科研实验室、小型镀膜设备，是中大流量洁净真级泵优选方案。

产品核心优势

全无油干式结构，杜绝工艺污染
泵腔内部无润滑油，无返油、油雾析出问题，保障腔体、样品不受碳氢污染物干扰，满足半导体、精密分析仪器等高洁净制程需求。搭载气镇功能，具备优秀水蒸气抽取能力，适配含水汽抽气工况。
一体式风冷设计，部署灵活便捷
整机强制空气冷却，无需铺设冷却水管道，仅接入电源即可启动，不受厂房供水条件限制，可放置在设备旁、实验机房、狭小空间安装。50/60Hz 工况下抽速性能稳定，适配国内 220V 供电环境。
非接触转子设计，运维成本极低
多级罗茨转子运转互不接触，无磨损耗材，无需频繁更换油封、润滑油，正常洁净工况实现长期连续运行，大幅减少停机维保工时与耗材投入。搭载智能怠速休眠模式，有效降低长期运行能耗。
低噪低振动，运行稳定可靠
整机优化流体结构，运行噪音低、振动控制优异，适配精密检测设备、电子显微镜、质谱仪等对振动敏感的装置。内置多重传感器，支持温度、负载实时监测，故障自动报警保护。
智能通讯拓展，兼容自动化集成
配备标准化信号接口，支持远程状态监控、故障信号输出，方便对接自动化真空控制系统，适配 OEM 设备配套。产品满足 SEMI-S2、CE 规范，洁净车间、海外设备配套均可合规使用。

EV-SA20：抽速 1670L/min，极限真空 3Pa，进气 NW50

EV-SA30：抽速 3300L/min，极限真空 2Pa，进气 NW63

EV-SA50：抽速 5000L/min，极限真空 0.5Pa，进气 NW80

✅半导体行业：晶圆 Load Lock 传输腔、小型 PVD、研发样机腔体、芯片封装真空系统

✅分析仪器：扫描电镜 SEM、质谱仪、XPS 表面分析仪、氦检设备前级真空

✅科研实验室：小型真空镀膜、真空烧结、材料物性测试、真空脱泡

✅光电与通用工业：平板显示小型腔体、新能源小样真空干燥、精密设备负压配套

EV-SA 系列面向轻、中负荷洁净真空工况，适合无大量粉尘、强腐蚀气体抽气场景；如需处理腐蚀性工艺气体，可选择带氮气吹扫 P 款、镍合金流道 N 款。相比水冷 EV-S 系列，省去水路配套，前期安装投入更低；相比 EV-PA 系列抽速更大，满足中大腔体快速抽空需求。

本店供应EBARA 荏原 EV-SA20、EV-SA30、EV-SA50 干式真空泵，可提供技术选型、管路配套方案，支持现货发货，可提供产品样本、性能曲线，欢迎咨询。