EBARA荏原EV-PA系列风冷无油干式真空泵介绍
更新时间：2026-07-29
浏览次数：78
EBARA荏原EV-PA系列为无油干式真空泵，采用风冷结构，无需水冷，整机无油设计，真空洁净度高，运行稳定、免维护，广泛配套分析仪器、半导体设备、实验室真空系统、检漏设备等，是中小流量洁净真空场景通用型前级真空泵。
产品核心特点
1. 全无油干式结构，泵腔无润滑油，无油烟、无返油，提供高洁净真空，杜绝样品、腔体污染，适配精密仪器洁净工况。
2. 风冷一体式设计，无需外接冷却水，接线即可使用，安装简单，适配设备内嵌、台式摆放、移动式使用。
3. 转子非接触结构，无磨损配件，无需定期换油、更换油封，维保成本低，可长期连续稳定运行。
4. 低噪音、低振动，体积小、重量轻，适配实验室、检测车间、精密设备配套使用。
5. 宽电压通用，适配国内220V市电，支持设备自动化集成，带信号拓展接口，适配OEM设备配套。
6. 带气镇功能，可抽取微量水汽，适配脱泡、干燥、常规负压抽气工况。
常规型号参数
EV-PA250：抽速230L/min，极限真空0.5Pa，进气接口NW25
EV-PA500：抽速500L/min，极限真空0.5Pa，进气接口NW40
适用场景
半导体小型腔体、等离子清洗、真空镀膜、芯片封装、扫描电镜、质谱仪、XRD检测仪、氦质谱检漏仪、实验室真空脱泡、真空干燥、新能源小样测试、精密仪器负压配套。
产品优势对比
对比油式真空泵：无油污污染、无需频繁保养、真空洁净度更高；对比涡旋干泵：稳定性更强、故障率低、适合长时间连续作业；对比大型干泵：体积小巧、功耗低、安装便捷，中小型设备适配度更高。
售后说明
本店销售EBARA荏原EV-PA系列真空泵，现货直发，提供选型咨询、配套管路方案、技术调试支持，可提供产品样本、参数曲线，支持对公采购。
型号怎么选（直白选型指南）
EV-PA250（230L/min）：适配小型设备、小腔体、低负荷间歇作业。适合台式仪器、小型真空脱泡、小样干燥、实验室常规实验、单台检漏仪配套，体积更小、摆放灵活、功耗更低，是小流量洁净真空。
EV-PA500（500L/min）：适配中大腔体、连续作业、多设备并联、抽气量大工况。适合等离子清洗、小型镀膜、半导体腔体、批量脱泡、长时间连续运行设备，抽速更快、抽空效率更高，可满足大容积真空需求。
通用选型标准：两款型号极限真空均为0.5Pa，洁净等级一致，仅抽速与接口规格不同。小工况、轻负载选250；大容积、快抽空、连续作业选500。
本店销售EBARA荏原EV-PA系列真空泵，现货直发，提供选型咨询、配套管路方案、技术调试支持，可提供产品样本、参数曲线，支持对公采购。
