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EBARA 荏原 EV‑S30 罗茨干式真空泵 型号：EV‑S30 泵体结构：多级罗茨无油干式结构 版本：标准基础款，无氮气吹扫 抽气速率：3300 L/min 极限真空：≤2.0 Pa 冷却方式：水冷，冷却水流量 1.5‑3.0L/min 供电：三相 AC200‑460V 50/60Hz
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EBARA 荏原 EV‑M1205SF 罗茨干式真空泵 型号：EV‑M1205SF 泵体结构：多级罗茨无油干式结构 防腐规格：SF 型，内腔 PFA 特氟龙涂层，强腐蚀工况专用 抽气速率：110000 L/min 极限真空：≤0.5 Pa 冷却方式：水冷，冷却水流量 5‑8L/min 供电：三相 AC200‑460V 50/60Hz 通讯：RS485 接口，温度监控、报警历史记录、远程状态读取
