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EBARA 荏原 EV‑SA20 风冷罗茨干式真空泵型号：EV‑SA20 泵体结构：多级罗茨无油干式结构 版本：标准款 冷却方式：风冷，无需冷却水 抽气速率：1670 L/min 极限真空：0.5‑3.0 Pa（气镇关闭）；1.0‑5.0 Pa（气镇开启） 供电：单相 / 三相 200‑240V，50/60Hz，电压允许波动 ±10% 通讯接口：RS485，支持报警历史记录、温度监控、远程状态读取
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EBARA 荏原 EV‑S200N 罗茨干式真空泵旗舰大流量耐腐蚀干式真空泵，无油水冷机型。采用镍合金 Ni‑Resist 防腐腔体搭配内置氮气吹扫，耐受卤素类轻度腐蚀气体，同时兼容微量粉尘工况；整机结构紧凑，直流变频驱动，具备怠速休眠节能功能，大气压直抽，无需前置泵，多用于 12 寸半导体、高世代面板超大尺寸负载锁腔、传输腔、轻度刻蚀、大流量轻负荷 CVD 等带有弱腐蚀介质的大流量轻负载真空工艺
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EBARA 荏原 EV‑S200P 罗茨干式真空泵旗舰大流量带吹扫紧凑型干式真空泵，无油水冷机型。搭载内置氮气吹扫结构，可应对微量粉尘、可凝物工况；整机结构紧凑，直流变频驱动，具备怠速休眠节能功能，大气压直抽，无需前置泵，多用于 12 寸半导体、高世代面板超大尺寸负载锁腔、传输腔以及产生少量颗粒的大型 PVD 等大流量轻负载真空工艺。
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EBARA 荏原 EV‑S200 罗茨干式真空泵EV‑S200 是 EBARA 荏原 EV‑S 系列旗舰大流量紧凑型干式真空泵，无油水冷机型，面向 12 寸半导体、高世代面板、光伏高产能量产洁净轻负载工艺。整机结构紧凑，直流变频驱动，具备怠速休眠节能功能，大气压直抽，无需前置泵，适配超大尺寸负载锁腔体、传输腔、大型 PVD 溅射等高排气量洁净工艺场景。
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EBARA 荏原 EV‑S100N 罗茨干式真空泵EV‑S100N 是 EBARA 荏原 EV‑S 系列大流量耐腐蚀干式真空泵，无油水冷机型。采用镍合金防腐腔体搭配内置氮气吹扫，耐受卤素类轻度腐蚀气体，同时兼容微量粉尘工况；整机结构紧凑，直流变频驱动，具备怠速休眠节能功能，大气压直抽，无需前置泵，多用于半导体大尺寸负载锁腔、传输腔、轻度刻蚀、中小流量 CVD 等带有弱腐蚀介质的大流量轻负载真空工艺
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