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ESR500W(N) 优惠代理厂商性质
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2026-09-11浏览次数
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EBARA荏原ESR500W(N)大抽速罗茨干式真空泵多级罗茨无油干式真空泵，抽速 46000L/min，水冷结构，进气法兰 ISO160。W 为标准洁净腔体，N 可升级镍合金耐蚀腔体，一台机型兼顾洁净工艺与含卤素、粉尘的腐蚀工况；无油结构杜绝碳氢污染，搭载变频怠速节能系统，整机轻量化占地小，作为超大分子泵配套前级干泵，适配半导体超大腔体、平板显示、光伏重载真空量产线。
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ESR300W(N) 优惠代理厂商性质
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EBARA荏原ESR300W(N)超大流量干式真空泵EBARA 荏原多级罗茨无油干式真空泵，抽速 46000L/min，水冷结构，进气法兰 ISO160。W 为标准洁净腔体，N 代表镍合金耐蚀腔体可选，一台泵可适配洁净工艺与轻度腐蚀两种工况；无油结构杜绝碳氢污染，变频搭配怠速节能，超大抽气量，作为超大分子泵配套前级干泵，适用于半导体超大腔体、平板显示、光伏大型真空制程。
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ESR200WN 优惠代理厂商性质
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*EBARA荏原ESR200WN防腐罗茨干式真空泵EBARA 荏原多级罗茨无油干式真空泵，抽速 30000L/min，水冷结构，进气法兰 ISO160。WN 型号腔体采用镍基耐蚀合金，搭配多路氮气吹扫保护结构，无油设计不会产生碳氢污染，变频系统支持怠速节能，可长时间稳定处理卤素、粉尘等腐蚀性工艺气体，常作为大型分子泵前级干泵，用于半导体腐蚀刻蚀、PVD、超大 Load-Lock 锁仓等高负载严苛
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ESR200W 优惠代理厂商性质
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*EBARA 荏原ESR200W 洁净罗茨干式真空泵EBARA 荏原多级罗茨无油干式真空泵，抽速 30000L/min，水冷结构，进气法兰 ISO160。W 代表标准洁净腔体，无油结构避免碳氢污染，变频调速搭配怠速节能功能，机身紧凑低振动，专为无腐蚀大流量真空工艺打造，作为大型分子泵配套前级干泵，多用于半导体大型锁仓、PVD 溅射、平板显示真空腔体。
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ESR100WN优惠代理厂商性质
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*EBARA荏原ESR100WN耐蚀罗茨干式真空泵EBARA 荏原多级罗茨无油干式真空泵，抽速 10000~20000L/min，水冷结构，进气法兰 ISO160。WN 版本腔体采用镍抗蚀合金，内置多路氮气吹扫保护，无油设计杜绝碳氢污染，变频调速搭配怠速节能模式，专为含腐蚀性气体的中重载真空工艺设计，常作为大型分子泵前级干泵，用于半导体刻蚀、大型 PVD、离子注入等严苛制程。
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