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更新时间
2026-08-04 -
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产品描述
ULVAC 爱发科 LR1200 罗茨干式真空泵LR1200 属于 ULVAC LR 系列超大流量常温洁净水冷多级罗茨干式真空泵，无油干式结构，无泵腔高温加热系统。泵体搭载全域低温均热技术，均衡泵体温度，抑制频繁抽放真空带来的水汽结露；面向 12 寸晶圆、高世代 OLED/LCD 面板大型 PVD 镀膜 Load Lock 大腔体开发，适配腔体高频循环破空抽气工况。仅抽取空气、氮气、氩气等洁净
