品牌	EBARA/荏原	价格区间	2万-3万
仪器种类	真空泵	产品类型	无油泵
产地类别	进口	应用领域	化工,能源,电子/电池,半导体,机械设备

EBARA 荏原 EV‑SA30 风冷罗茨干式真空泵EBARA 荏原 EV‑SA30 风冷罗茨干式真空泵

关键技术参数

型号系列：EV‑SA（标准款 / P 氮气吹扫款 / N 镍合金防腐吹扫款）泵体结构：多级罗茨无油干式结构冷却方式：风冷，无需冷却水抽气速率：1670‑5000 L/min极限真空：0.5‑3.0 Pa（气镇关闭）；1.0‑5.0 Pa（气镇开启）供电：单相 / 三相 200‑240V，50/60Hz，电压允许波动 ±10%通讯接口：RS485，支持报警历史记录、温度监控、远程状态读取认证：SEMI‑S2、CE、NRTL

版本后缀说明‑标准款：洁净工艺使用‑P 款：内置氮气吹扫，适配微量粉尘、水汽工况‑N 款：镍合金腔体 + 氮气吹扫，适配轻度卤素腐蚀气体

产品概述

EV‑SA 系列是 EBARA 荏原风冷型紧凑型干式真空泵，区别于 EV‑S 水冷系列，整机不需要外接冷却水，仅接入电源即可运行，安装位置不受水冷管路限制。采用非接触多级罗茨结构，低能耗、低噪音，具备怠速休眠节能模式，水汽抽除能力优异。主要面向半导体 Load‑lock、分析仪器、实验室镀膜、小型 PVD 等洁净轻负载真空场景，适合没有冷却水供给的设备端集成、实验室、检测设备配套使用。

工作原理

多组非接触罗茨转子逐级压缩气体，整机内部无油。风冷散热取代水冷结构，依靠风扇完成整机散热；直流变频电机跟随工艺负载动态调速，工作阶段满负荷运行，待机空载自动切换怠速休眠降低功耗。P/N 版本搭载内置氮气吹扫通路，稀释水汽、粉尘、轻度腐蚀性介质，保护腔体与转子。内置多组传感器，故障预警、报警信号可对接工厂 FAB 自动化控制系统。

核心特点

风冷免水冷，无需冷却水管道，现场布线简单，安装自由度高，适配实验室、机台直接集成场景。
非接触罗茨转子结构，无摩擦磨损，振动低、运行噪音＜58dB (A)，可连续长时间运行。
变频怠速休眠节能，待机自动降功率，相比传统干泵能耗更低，运行成本低。
同级别风冷干泵中水汽抽除性能优异，可处理一定量水汽工况。
多版本可选：标准款用于洁净工艺；P 款氮气吹扫应对微量粉尘水汽；N 款镍合金腔体耐受轻度卤素腐蚀。
50Hz/60Hz 电网频率下抽气性能保持一致，适配全球各地产线。
RS485 通讯接口，完整报警历史存储，支持远程参数读取、设备集中管理。
多传感器故障预警，降低非计划停机风险，整机满足 SEMI‑S2 半导体设备安全标准。

典型应用场景

半导体：Load‑lock 负载锁腔体、计量检测设备、小型 PVD 溅射；分析仪器：质谱仪、电子显微镜各类精密分析设备前级泵；科研实验室：真空镀膜、真空干燥、各类科研真空腔体；光电行业：LED、小型光伏薄膜沉积洁净制程；无冷却水条件下的各类洁净、微量粉尘、轻度腐蚀轻负荷真空工艺。

EV‑SA 系列完整型号清单

EV‑SA20、EV‑SA20P、EV‑SA20NEV‑SA30、EV‑SA30P、EV‑SA30NEV‑SA50、EV‑SA50P、EV‑SA50N

配套推荐

可搭配尾气处理装置；真空检测配置真空计模块；支持对接工厂 FAB 远程监控系统

规格


类型		单元	EV-SA20	EV-SA30	EV-SA50
电源	额定电压 50/60 Hz			单相 200-240V 三相 200-240V	单相 200-240V 三相 200-240V
	允许的电压波动			±10%	±10%
	功率容量	千伏安	3	3	3
泵送速度		升/分钟	1670	3300	5000
极限压力		宾夕法尼亚州	3.0/ 5.0*	2.0/ 3.0*	0.5/1.0*
联系	进口		西北40	西北40	NW50
联系	出路		西北40	西北40	西北40
极限压力下的近似功率		千瓦	0.45	0.45	0.5
冷却系统			风冷	风冷	风冷
重量		公斤	65	90	150

*规格参数仅供参考，可能因型号而异。
*详情请联系我们。

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