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产品型号
MU-XE系列- -
厂商性质
经销商 -
更新时间
2026-09-11 -
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91
产品描述
KASHIYAMA樫山MU-XE系列节能干式真空泵抽速覆盖 1660~20000L/min，极限真空 0.5~1.5Pa，无油结构无碳氢油污污染，可配套氮气吹扫抑制工艺副产物沉积，常作为分子泵配套前级真空泵，多用于半导体晶圆传送腔、Load-Lock、洁净薄膜工艺等场景。
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KASHIYAMA樫山MU-XE系列节能干式真空泵抽速覆盖 1660~20000L/min，极限真空 0.5~1.5Pa，无油结构无碳氢油污污染，可配套氮气吹扫抑制工艺副产物沉积，常作为分子泵配套前级真空泵，多用于半导体晶圆传送腔、Load-Lock、洁净薄膜工艺等场景。
产品型号
MU600HE-厂商性质
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2026-09-11浏览次数
79产品描述
KASHIYAMA樫山MU600HE大流量耐蚀干式真空泵最大抽速 10000L/min，极限真空 0.5Pa，水冷结构。MU600HE 搭载热氮气吹扫装置，有效抑制水汽、卤素、工艺粉尘在泵腔沉积，提升耐蚀性能；无油结构不存在碳氢油污污染，整机低功耗，机身紧凑，常作为大型分子泵配套前级真空泵，适配半导体刻蚀、PVD、带水汽卤素的大容量晶圆锁仓等中轻度腐蚀量产工艺。
产品型号
MU600PE-厂商性质
经销商更新时间
2026-09-11浏览次数
75产品描述
KASHIYAMA樫山MU600PE大流量节能干式真空泵。最大抽速 10000L/min，极限真空 0.5Pa，水冷结构。MU600PE 为标准轻载机型，罗茨转子结构稳定，可选配氮气吹扫，减少水汽、工艺粉尘沉积；无油结构无碳氢油污污染，整机功耗低，机身紧凑，常作为大型分子泵配套前级真空泵，适合半导体大容量晶圆锁仓、PECVD、ALD 等洁净型量产真空工艺。
产品型号
MU300HE-厂商性质
经销商更新时间
2026-09-11浏览次数
77产品描述
KASHIYAMA樫山MU300HE中型耐蚀干式真空泵最大抽速 5000L/min，极限真空 0.5Pa，水冷结构。MU300HE 搭载热氮气吹扫 Hot N₂装置，可有效抑制水汽、卤素、工艺粉尘在泵腔沉积，提升对轻度腐蚀工艺耐受性；无油结构无碳氢油污污染，机身紧凑，常作为中型分子泵配套前级真空泵，适配半导体小型刻蚀、带水汽晶圆锁仓、中轻度腐蚀薄膜沉积等量产工艺。
产品型号
MU300PE-厂商性质
经销商更新时间
2026-09-11浏览次数
79产品描述
KASHIYAMA樫山MU300PE中型节能干式真空泵最大抽速 5000L/min，极限真空 0.5Pa，水冷结构。MU300PE 为标准轻载机型，罗茨转子结构稳定，可选配氮气吹扫，降低粉尘、水汽等工艺副产物沉积；无油设计不存在碳氢油污污染，整机功耗低，机身紧凑，常作为中型分子泵配套前级真空泵，适合半导体中型晶圆锁仓、PECVD、ALD 等洁净型真空量产工艺。
