简要描述：KASHIYAMA樫山MU-XE系列节能干式真空泵抽速覆盖 1660~20000L/min，极限真空 0.5~1.5Pa，无油结构无碳氢油污污染，可配套氮气吹扫抑制工艺副产物沉积，常作为分子泵配套前级真空泵，多用于半导体晶圆传送腔、Load-Lock、洁净薄膜工艺等场景。

产品简介：MU-XE 系列为日本 KASHIYAMA 樫山工业水冷无油干式真空泵，主打超小占地、超低功耗设计，GX 为同系列耐蚀版本。抽速覆盖 1660~20000L/min，极限真空 0.5~1.5Pa，无油结构无碳氢油污污染，可配套氮气吹扫抑制工艺副产物沉积，常作为分子泵配套前级真空泵，多用于半导体晶圆传送腔、Load-Lock、洁净薄膜工艺等场景。

产品特点

1. 行业超低能耗，专用同步电机 + 转子优化设计，相比同等级干泵能耗大幅降低，长期量产节约电费。

2. 紧凑机身，同抽速下设备体积更小，可直接内嵌集成在半导体设备机台内部，节省产线安装空间。

3. 洁净无油真空，泵腔不含润滑油，杜绝返油污染，保护晶圆与真空腔体洁净，适配半导体洁净制程。

4. 可选氮气吹扫，降低粉尘、水汽在泵内附着堆积，延长维护周期，GX 版本腔体做耐蚀强化，适配轻度腐蚀工况。

5. 内置压力、温度、缺水监测与故障报警，自动化信号输出，满足 SEMI、CE 安全规范。

适用范围

半导体 Load-Lock 晶圆锁仓、晶圆传送腔、PECVD、ALD 洁净薄膜工艺；MEMS、LED 洁净真空设备；FPD 平板显示、光伏轻载真空腔体；各类高真空分析仪器前级系统。

标准配件

干泵主机；可选配件：控制器、氮气吹扫组件、报警采集模块、原厂维修备件包
KASHIYAMA樫山MU-XE系列节能干式真空泵KASHIYAMA樫山MU-XE系列节能干式真空泵

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