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产品型号
EV‑X10 -
厂商性质
经销商 -
更新时间
2026-08-22 -
浏览次数
73
产品描述
EBARA 荏原 EV‑X系列无油螺杆式干式真空泵EV‑X10 属于 EV‑X 系列基础机型，无油螺杆干式真空泵，面向半导体中等负荷工艺，可处理常规及轻度腐蚀性工艺尾气，多用于刻蚀、CVD、灰化等产线主抽真空设备。
24 小时销售热线13058030001
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EV‑X10厂商性质
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EBARA 荏原 EV‑X系列无油螺杆式干式真空泵EV‑X10 属于 EV‑X 系列基础机型，无油螺杆干式真空泵，面向半导体中等负荷工艺，可处理常规及轻度腐蚀性工艺尾气，多用于刻蚀、CVD、灰化等产线主抽真空设备。
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2026-08-04浏览次数
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ULVAC 爱发科 LR3601 罗茨干式真空泵型号：LR3601（多级罗茨干式真空泵） 50Hz 最大抽速：3200m³/h（53333 L/min） 极限压力：≤0.67Pa 供电规格：三相 AC200V / AC380～460V 50/60Hz（区分后缀型号） 冷却方式：水冷；冷却水压力 0.1~0.3MPa，最小流量≥5.0L/min 标准轴封氮气流量：5SLM 吸气口法兰：ISO-F
