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产品型号
EST800WN -
厂商性质
代理商 -
更新时间
2026-08-22 -
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产品描述
EBARA荏原EST系列重载型双级螺杆干式真空泵EST800WN 是 EST 系列超大流量重载双级螺杆干式真空泵，WN 镍合金强化防腐配置。面向半导体超大产能量产工况，泵腔镍合金耐蚀材质，配置泵腔高温控温，抑制氯化铵、硅化物固态副产物冷凝结块，适配超大流量、强腐蚀、高粉尘工艺排气抽取。
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EBARA荏原EST系列重载型双级螺杆干式真空泵EST100WN 属于 EST 系列大流量重载双级螺杆干式真空泵，WN 代表镍合金强化防腐配置。专门面向半导体量产严苛工况，泵腔采用耐蚀镍合金材质，自带泵腔高温控温，抑制氯化铵、硅化物等固态副产物冷凝结块，适配大流量、强腐蚀、多粉尘的工艺排气抽取。
