24 小时销售热线13058030001
产品中心

Product

当前位置:首页  /  产品中心  /  真空泵  /  干式真空泵

  • EST25NEBARA荏原EST系列重载型双级螺杆干式真空泵
    EST25NEBARA荏原EST系列重载型双级螺杆干式真空泵

    产品型号

    EST25N

    厂商性质

    代理商

    更新时间

    2026-08-22

    浏览次数

    21

    产品描述

    EBARA荏原EST系列重载型双级螺杆干式真空泵EST25N 为 EST 系列中流量重载双级螺杆干式真空泵,N 为标准防腐配置,搭载泵腔高温控温功能,可应对产生粉尘、化学盐类副产物的中等流量工艺,无油干式结构,适配轻度腐蚀工艺尾气抽取,多用于半导体、光伏中试及量产设备。
  • EST10NEBARA荏原EST系列重载型双级螺杆干式真空泵
    EST10NEBARA荏原EST系列重载型双级螺杆干式真空泵

    产品型号

    EST10N

    厂商性质

    代理商

    更新时间

    2026-08-22

    浏览次数

    25

    产品描述

    EBARA荏原EST系列重载型双级螺杆干式真空泵EST10N 是 EST 系列入门重载双级螺杆干式真空泵,N 代表标准防腐配置,针对会产生少量粉尘、化学副产物的中小流量工艺开发。无油干式结构,支持泵腔加温,防止反应生成物冷凝结块,适配轻度腐蚀性尾气抽取,多用于半导体小型工艺设备。
  • EV‑X30NEBARA 荏原 EV‑X系列无油螺杆式干式真空泵
    EV‑X30NEBARA 荏原 EV‑X系列无油螺杆式干式真空泵

    产品型号

    EV‑X30N

    厂商性质

    代理商

    更新时间

    2026-08-22

    浏览次数

    30

    产品描述

    EBARA 荏原 EV‑X系列无油螺杆式干式真空泵EV‑X30N 为 EV‑X30 的镍合金防腐版本,大流量无油螺杆干式真空泵,针对半导体高腐蚀、大抽气量工艺工况设计,泵腔采用镍合金材质,专门抽取含氟、氨气等强腐蚀性工艺尾气。
  • EV‑X30EBARA 荏原 EV‑X系列无油螺杆式干式真空泵
    EV‑X30EBARA 荏原 EV‑X系列无油螺杆式干式真空泵

    产品型号

    EV‑X30

    厂商性质

    代理商

    更新时间

    2026-08-22

    浏览次数

    27

    产品描述

    EBARA 荏原 EV‑X系列无油螺杆式干式真空泵EV‑X30 是 EV‑X 系列大流量机型,无油螺杆干式真空泵,面向半导体中等负荷大抽气量制程,适配刻蚀、CVD、灰化等工艺,可选用 EV‑X30N 防腐版本应对腐蚀性工艺气体。
  • EV‑X20NEBARA 荏原 EV‑X系列无油螺杆式干式真空泵
    EV‑X20NEBARA 荏原 EV‑X系列无油螺杆式干式真空泵

    产品型号

    EV‑X20N

    厂商性质

    代理商

    更新时间

    2026-08-22

    浏览次数

    21

    产品描述

    EBARA 荏原 EV‑X系列无油螺杆式干式真空泵EV‑X20N 是 EV‑X20 的镍合金防腐型号,无油螺杆干式真空泵,针对半导体强腐蚀工艺环境设计,泵腔镍合金材质,适合抽取含氟、氨气等腐蚀性工艺尾气。
共 14 条记录,当前 2 / 3 页  首页  上一页  下一页  末页  跳转到第页 
全国咨询热线:13058030001

地址:深圳市龙华区龙华街道松和社区汇食街一巷7号3层

邮箱:qsm@tamasakisemi.com

传真:0755-28770006

扫码加微信

版权所有 © 2026 玉崎半导体(深圳)有限公司    备案号:

技术支持:化工仪器网    sitemap.xml

TEL:13058030001

扫码加微信