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产品型号
EV‑X20 -
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代理商 -
更新时间
2026-08-22 -
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产品描述
EBARA 荏原 EV‑X系列无油螺杆式干式真空泵EV‑X20 为 EV‑X 系列中流量机型，无油螺杆干式真空泵，面向半导体中等负荷制程，适配刻蚀、CVD、灰化等工艺，可选用防腐版本应对腐蚀性工艺气体。
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ULVAC 爱发科 LR3601 罗茨干式真空泵型号：LR3601（多级罗茨干式真空泵） 50Hz 最大抽速：3200m³/h（53333 L/min） 极限压力：≤0.67Pa 供电规格：三相 AC200V / AC380～460V 50/60Hz（区分后缀型号） 冷却方式：水冷；冷却水压力 0.1~0.3MPa，最小流量≥5.0L/min 标准轴封氮气流量：5SLM 吸气口法兰：ISO-F
