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EV‑X30N -
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2026-08-22 -
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产品描述
EBARA 荏原 EV‑X系列无油螺杆式干式真空泵EV‑X30N 为 EV‑X30 的镍合金防腐版本，大流量无油螺杆干式真空泵，针对半导体高腐蚀、大抽气量工艺工况设计，泵腔采用镍合金材质，专门抽取含氟、氨气等强腐蚀性工艺尾气。
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EBARA 荏原 EV‑X系列无油螺杆式干式真空泵EV‑X30N 为 EV‑X30 的镍合金防腐版本，大流量无油螺杆干式真空泵，针对半导体高腐蚀、大抽气量工艺工况设计，泵腔采用镍合金材质，专门抽取含氟、氨气等强腐蚀性工艺尾气。
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EV‑X30厂商性质
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77产品描述
EBARA 荏原 EV‑X系列无油螺杆式干式真空泵EV‑X30 是 EV‑X 系列大流量机型，无油螺杆干式真空泵，面向半导体中等负荷大抽气量制程，适配刻蚀、CVD、灰化等工艺，可选用 EV‑X30N 防腐版本应对腐蚀性工艺气体。
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EV‑X20N厂商性质
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92产品描述
EBARA 荏原 EV‑X系列无油螺杆式干式真空泵EV‑X20N 是 EV‑X20 的镍合金防腐型号，无油螺杆干式真空泵，针对半导体强腐蚀工艺环境设计，泵腔镍合金材质，适合抽取含氟、氨气等腐蚀性工艺尾气。
产品型号
EV‑X20厂商性质
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88产品描述
EBARA 荏原 EV‑X系列无油螺杆式干式真空泵EV‑X20 为 EV‑X 系列中流量机型，无油螺杆干式真空泵，面向半导体中等负荷制程，适配刻蚀、CVD、灰化等工艺，可选用防腐版本应对腐蚀性工艺气体。
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V‑X10N厂商性质
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EBARA 荏原 EV‑X系列无油螺杆式干式真空泵EV‑X10N 是 EV‑X10 的镍合金防腐版本，无油螺杆干式真空泵，针对半导体强腐蚀工艺工况开发，腔体采用镍合金材质，适合含氟、氨气等腐蚀性工艺尾气抽取。
