简要描述：EBARA 荏原 EV‑X系列无油螺杆式干式真空泵EV‑X30N 为 EV‑X30 的镍合金防腐版本，大流量无油螺杆干式真空泵，针对半导体高腐蚀、大抽气量工艺工况设计，泵腔采用镍合金材质，专门抽取含氟、氨气等强腐蚀性工艺尾气。

EBARA 荏原 EV‑X系列无油螺杆式干式真空泵产品概述

EV‑X 系列为无油螺杆式干式真空泵，面向半导体、功率器件产线的中等负荷工艺工况设计，整机无油结构，能够应对带有腐蚀性气体、少量粉尘的工艺排气，机型结构紧凑，多用于刻蚀、薄膜沉积等真空制程的主抽设备。

EBARA 荏原 EV‑X系列无油螺杆式干式真空泵核心特点

1. 无油螺杆结构，泵体内无润滑油参与真空腔体侧工作，避免油份返流污染工艺腔，保障制程洁净度。转子采用非接触式运转，摩擦损耗低，延长部件使用寿命。

2. 具备工艺适应性，可适配多种不同生产制程，支持处理氟化、氨气等腐蚀性工艺气体。可选用镍合金材质腔体版本，搭配氮气吹扫结构，强化抗腐蚀能力，降低气体对泵体的侵蚀。

3. 整机结构紧凑，设备占地空间小，适配工厂 sub‑fab 区域空间有限的安装环境。整机水冷散热，温控区间宽，工艺切换运行状态稳定。

4. 内置完整电控单元，具备运行状态监测、故障报警、信号输出功能，可对接产线上位控制系统实现远程监控，设备满足工业安全相关规范。

5. 模块化设计，维护拆装便捷，耗材更换作业简单，有利于产线日常运维，减少停机时长。

关键规格

• 泵形式：干式螺杆真空泵

• 冷却方式：水冷

• 主流型号：EV‑X10、EV‑X20、EV‑X30；带 N 后缀代表镍合金防腐配置

• 抽速覆盖：10000‑30000L/min 区间，中大流量工艺使用

• 供电：支持 50/60Hz 工业电网

• 气体适配：腐蚀性工艺气体、含微量粉尘排气

应用场景

半导体刻蚀设备、CVD 薄膜沉积、去胶灰化、离子注入、外延工艺；同时适配功率半导体、部分平板显示产线真空抽取，作为工艺主抽真空泵使用。