简要描述：EBARA荏原EST系列重载型双级螺杆干式真空泵EST10N 是 EST 系列入门重载双级螺杆干式真空泵，N 代表标准防腐配置，针对会产生少量粉尘、化学副产物的中小流量工艺开发。无油干式结构，支持泵腔加温，防止反应生成物冷凝结块，适配轻度腐蚀性尾气抽取，多用于半导体小型工艺设备。

EBARA荏原EST系列重载型双级螺杆干式真空泵产品概述

EST 系列属于重载型双级螺杆无油干式真空泵，针对半导体高难度量产工况开发，专门处理会产出粉尘、化学盐类副产物的工艺尾气。自带泵腔高温控温能力，抑制副产物冷凝结垢，降低泵腔清理频次，适合腐蚀、多粉末的严苛生产环境，整机无油设计，保障真空腔体洁净度。

EBARA荏原EST系列重载型双级螺杆干式真空泵核心特点

1. 泵腔高温控温设计，维持内部工作温度，避免工艺反应生成物冷却结块附着腔体内壁，减少拆机维护频率，适配 CVD 类大量副产物产出制程。

2. 配置耐腐蚀流道，WN 型号采用镍合金腔体，多路氮气吹扫结构，可承受含氟、含氯、氨气、硅烷等腐蚀性气体，耐受工艺粉尘，重载工况稳定性强

3. 智能转速调节，依据气体负载自动调整转子转速，气体负载低时降速节能，负载高时提升抽气能力，50/60Hz 工业电网均可稳定运行。

4. 无油螺杆结构，不会发生油蒸汽返流污染工艺腔；转子非接触运转，机械磨损小，有效拉长耗材更换周期。

5. 自带本地操作显示面板，具备运行记录、故障预警、报警输出，支持参数自定义设置，可对接产线控制系统，适配工厂量产使用规范。

6. 水冷散热，支持 7×24 小时不间断连续运转，设备机身紧凑，节省厂房 sub‑fab 安装空间，模块化结构，拆装检修方便。

主要型号

• EST10N：抽速 1000 L/min，标准防腐配置

• EST25N：抽速 2500 L/min，标准防腐配置

• EST100WN：抽速 10000 L/min，镍合金重载防腐

• EST200WN：抽速 20000 L/min，镍合金重载防腐

• EST300WN：抽速 30000 L/min，镍合金重载防腐

• EST500WN：抽速 50000 L/min，镍合金重载防腐

N 代表基础防腐配置，WN 代表镍合金重载强化防腐版本。

应用场景

半导体 LPCVD、PECVD、HDP‑CVD、ALD、RTP 快速热处理、刻蚀工艺；第三代半导体碳化硅、氮化镓产线；光伏、面板薄膜沉积，处理带有粉尘、强腐蚀副产物的工艺排气。

与 EV‑X 系列简单区分

EV‑X：中等负荷，通用性强，适配常规刻蚀、普通 CVD 工艺。EST：重载严苛工况，主打抗粉尘、防结垢，强腐蚀高副产物工艺优先选用。

规格