简要描述：KASHIYAMA樫山MU600PE大流量节能干式真空泵。最大抽速 10000L/min，极限真空 0.5Pa，水冷结构。MU600PE 为标准轻载机型，罗茨转子结构稳定，可选配氮气吹扫，减少水汽、工艺粉尘沉积；无油结构无碳氢油污污染，整机功耗低，机身紧凑，常作为大型分子泵配套前级真空泵，适合半导体大容量晶圆锁仓、PECVD、ALD 等洁净型量产真空工艺。

产品简介：MU-PE/HE 系列为日本 KASHIYAMA 樫山工业水冷无油干式真空泵，PE 为标准轻载机型，HE 可搭载热氮气吹扫，提升工艺耐受性。整机主打超低功耗、小型紧凑机身，抽速覆盖 1660~10000L/min，无油结构消除碳氢油污污染，适配从轻负荷锁仓到中等刻蚀多种半导体工艺，作为分子泵配套前级真空泵，广泛应用于半导体、FPD 平板显示、MEMS、分析仪器等真空场景。

产品特点

1. 超低功耗设计，罗茨转子结构优化，同抽速等级能耗更低，长期连续量产降低运行成本。

2. 双版本可选：PE 标准版适配洁净工艺；HE 版本支持 Hot N₂热氮气吹扫，抑制水汽、粉尘、工艺副产物沉积，提升耐蚀能力。

3. 无油干式真空结构，泵腔内部无润滑油，不存在返油污染风险，保护晶圆与真空腔体洁净。

4. 紧凑小巧机身，整机体积精简，可直接集成在半导体设备机台内部，节省产线占地空间。

5. 内置压力、温度、缺水监测与故障报警，支持自动化信号输出，满足 SEMI、CE 安全规范。

适用范围

半导体 Load-Lock 晶圆锁仓、CVD、PECVD、轻度刻蚀、灰化工艺；MEMS、LED 研发真空设备；SEM 等分析仪器高真级；FPD 平板显示、光伏中轻度腐蚀真空腔体。

标准配件

干泵主机；可选配件：控制器、氮气吹扫组件、报警采集模块、原厂维修备件包。
KASHIYAMA樫山MU600PE大流量节能干式真空泵KASHIYAMA樫山MU600PE大流量节能干式真空泵
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