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EBARA 荏原 EV‑M202N 多级罗茨干式真空泵 型号：EV‑M202N 泵体结构：多级罗茨无油干式结构 防腐规格：N 型，腔体转子 Ni‑P 化学镍镀层，标准耐腐蚀 抽气速率：200000 L/min 极限真空：≤5×10⁻² Pa 冷却方式：水冷 供电：三相 AC200‑460V 50/60Hz 通讯：RS485 接口，温度监控、报警历史记录、远程状态读取 认证：SEMI‑S2、CE、N
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EBARA 荏原 EV‑M102N 多级罗茨干式真空泵 型号：EV‑M102N 泵体结构：多级罗茨无油干式结构 防腐规格：N 型，腔体转子 Ni‑P 化学镍镀层，标准耐腐蚀 抽气速率：100000 L/min 极限真空：≤5×10⁻² Pa 冷却方式：水冷 供电：三相 AC200‑460V 50/60Hz 通讯：RS485 接口，温度监控、报警历史记录、远程状态读取 认证：SEMI‑S2、CE、N
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EBARA 荏原 EV‑M20N 多级罗茨干式真空泵 型号：EV‑M20N 泵体结构：多级罗茨无油干式结构 防腐规格：N 型，腔体转子 Ni‑P 化学镍镀层，标准耐腐蚀 抽气速率：20000 L/min 极限真空：≤5×10⁻² Pa 冷却方式：水冷 供电：三相 AC200‑460V 50/60Hz 通讯：RS485 接口，温度监控、报警历史记录、远程状态读取 认证：SEMI‑S2、CE、NRTL
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ULVAC 爱发科 LR1800 罗茨干式真空泵型号：LR1800（多级罗茨干式真空泵） 50Hz 最大抽速：1701m³/h（28350 L/min） 60Hz 最大抽速：1784m³/h（29700 L/min） 极限压力：≤0.67Pa 供电规格：三相 AC200V 50/60Hz 冷却方式：水冷；冷却水压力 0.1~0.3MPa，最小流量≥5.0L/min 标准轴封氮气流量：5SLM
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ULVAC 爱发科 LR1200 罗茨干式真空泵LR1200 属于 ULVAC LR 系列超大流量常温洁净水冷多级罗茨干式真空泵，无油干式结构，无泵腔高温加热系统。泵体搭载全域低温均热技术，均衡泵体温度，抑制频繁抽放真空带来的水汽结露；面向 12 寸晶圆、高世代 OLED/LCD 面板大型 PVD 镀膜 Load Lock 大腔体开发，适配腔体高频循环破空抽气工况。仅抽取空气、氮气、氩气等洁净
