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EBARA 荏原 EV‑S30P 罗茨干式真空泵 型号：EV‑S30P 泵体结构：多级罗茨无油干式结构 版本：P 款，内置氮气吹扫 抽气速率：3300 L/min 极限真空：≤5.0 Pa 冷却方式：水冷，冷却水流量 1.5‑3.0L/min 吹扫配置：内置氮气吹扫通路，吹扫流量 17‑20L/min 供电：三相 AC200‑460V 50/60Hz
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EBARA 荏原 EV‑S30 罗茨干式真空泵 型号：EV‑S30 泵体结构：多级罗茨无油干式结构 版本：标准基础款，无氮气吹扫 抽气速率：3300 L/min 极限真空：≤2.0 Pa 冷却方式：水冷，冷却水流量 1.5‑3.0L/min 供电：三相 AC200‑460V 50/60Hz
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EBARA 荏原 EV‑S20N 罗茨干式真空泵 型号：EV‑S20N 泵体结构：多级罗茨无油干式结构 版本：N 款，镍合金耐腐蚀腔体 + 内置氮气吹扫 抽气速率：1670 L/min 极限真空：≤5.0 Pa 冷却方式：水冷，冷却水流量 1.5‑3.0L/min 吹扫配置：内置氮气吹扫通路，吹扫流量 17‑20L/min 供电：三相 AC200‑460V 50/60Hz
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EBARA 荏原 EV‑S20P 罗茨干式真空泵型号：EV‑S20P 泵体结构：多级罗茨无油干式结构 版本：P 款，内置氮气吹扫 抽气速率：1670 L/min 极限真空：≤5.0 Pa 冷却方式：水冷，冷却水流量 1.5‑3.0L/min 吹扫配置：内置氮气吹扫通路，吹扫流量 17‑20L/min 供电：三相 AC200‑460V 50/60Hz 通讯：RS485 接口，温度监控、报警历史记录、
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EBARA 荏原 EV‑S20 罗茨干式真空泵EV‑S20 是 EBARA 荏原 EV‑S 系列小型紧凑型干式真空泵，无油水冷机型，主打洁净轻负载真空工艺。整机体积小巧，直流变频驱动，具备怠速休眠节能功能，无需前置泵，适配半导体负载锁腔、传输腔、中小型镀膜等洁净工况，适合对设备安装空间有约束的场景。
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