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EBARA 荏原 EV‑S30P 罗茨干式真空泵

简要描述：EBARA 荏原 EV‑S30P 罗茨干式真空泵
型号：EV‑S30P
泵体结构：多级罗茨无油干式结构
版本：P 款，内置氮气吹扫
抽气速率：3300 L/min
极限真空：≤5.0 Pa
冷却方式：水冷，冷却水流量 1.5‑3.0L/min
吹扫配置：内置氮气吹扫通路，吹扫流量 17‑20L/min
供电：三相 AC200‑460V 50/60Hz

基础信息

产品型号

厂商性质

代理商

更新时间

2026-08-04

浏览次数

36

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详细介绍
品牌EBARA/荏原价格区间2万-3万
仪器种类真空泵产品类型无油泵
产地类别进口应用领域化工,能源,电子/电池,半导体,机械设备

EBARA 荏原 EV‑S30P 罗茨干式真空泵EBARA 荏原 EV‑S30P 罗茨干式真空泵
关键技术参数

型号系列：EV‑S（标准基础款 / P 氮气吹扫款 / N 镍合金耐腐蚀吹扫款）泵体结构：多级罗茨无油干式结构抽气速率：1670‑20000 L/min极限真空：≤3.0 Pa冷却方式：水冷供电：三相 AC200‑460V，50/60Hz，50Hz/60Hz 工况性能一致通讯接口：RS485，支持报警历史记录、温度监控、远程状态读取认证：SEMI‑S2、CE、NRTL版本后缀说明‑标准款：洁净工艺使用‑P 款：内置氮气吹扫，轻微粉尘工况‑N 款：Ni‑Resist 镍合金腔体 + 氮气吹扫，适配轻度腐蚀气体

产品概述

EV‑S 系列为 EBARA 荏原轻载型罗茨干式真空泵，无油水冷紧凑型机型，面向半导体、面板、LED、光伏洁净以及轻度腐蚀轻制程工艺。整机体积小巧轻量化，标配变频怠速休眠节能功能，无需复杂基建。可按需选择基础版、氮气吹扫 P 版、镍合金耐腐蚀 N 版，适配负载锁腔、传输腔、中小型 PVD、轻度刻蚀等轻负荷真空场景。

工作原理

多组非接触罗茨转子逐级压缩气体，整机内部无油。直流变频电机根据工艺负载动态调节转速，工艺工作阶段满负荷运行，待机空载自动切换怠速休眠，降低功耗；水冷完成整机散热，实时采集温度、电流、压力运行数据，故障预警与报警信号可对接工厂 FAB 自动化控制系统。P/N 版本搭载氮气吹扫通路，抑制微量粉尘、腐蚀性介质对泵体部件侵蚀。

核心特点

  1. 整机小型轻量化，设备占地面积小，方便 Subfab 机房布置与设备端集成。

  2. 直流变频怠速休眠功能，同抽速等级相比传统干泵功耗大幅降低，洁净工况下可不用持续通入氮气，节约用气成本。

  3. 多版本配置可选，标准款适配洁净工艺；P 款氮气吹扫应对微量粉尘；N 款镍合金腔体，耐受卤素类轻度腐蚀气体。

  4. 非接触罗茨转子结构，无摩擦磨损，振动低、运行噪音小。

  5. 50Hz、60Hz 电网频率下抽气性能保持一致，适配*各地产线。

  6. RS485 通讯接口，完整报警历史存储，支持远程参数读取、设备集中管理。

  7. 内置多组传感器，具备故障预警功能，降低非计划停机风险，整机满足 SEMI‑S2 半导体设备安全标准。

典型应用场景

半导体：Load‑lock 负载锁腔体、晶圆传输腔、中小型 PVD 溅射、轻度刻蚀、小型 CVD 工艺排气；LED 行业：芯片镀膜、刻蚀制程；显示面板：中小型腔体预抽、洁净镀膜工艺；光伏行业：薄膜沉积轻制程；其它：实验室镀膜、分析仪器、各类洁净、轻度腐蚀轻负荷真空工艺。

EV‑S 系列完整型号清单

EV‑S20、EV‑S20P、EV‑S20NEV‑S50、EV‑S50P、EV‑S50NEV‑S100、EV‑S100P、EV‑S100NEV‑S200、EV‑S200P、EV‑S200N

配套推荐

可搭配尾气处理装置；真空检测配置真空计模块；支持对接工厂 FAB 远程监控系统

规格














类型单元EV-S20EV-S20P/NEV-S30EV-S30PEV-S50EV-S50P/NEV-S100EV-S100P/NEV-S200EV-S200P/N
冷却水流速升/分钟1.5~3.01.5~3.01.5~3.01.5~3.02.0~3.02.0~3.02.0~3.02.0~3.02.0~3.02.0~3.0
温度℃最多 30最多 30最多 30最多 30最多 30最多 30最多 30最多 30最多 30最多 30
电源功率容量千伏安3.23.23.63.64.84.86.46.46.86.8
泵送速度升/分钟16701670330033005000500010000100002000020000
极限压力宾夕法尼亚州350.510.50.50.50.50.50.5
联系进口
NW50NW50NW50NW50NW50NW50NW80NW80NW100NW100
出路
NW25NW25NW25NW25NW25NW25NW25NW25西北40西北40
极限压力下的近似功率千瓦0.40.40.40.40.550.550.650.650.750.75
N2流速帕·米³/秒-17～20 (2.4)-17～20 (2.4)
17～20 (2.4)
17～20 (2.4)
17～20 (2.4)
电源相位/电压/频率200V 型号
三相/200-220V，50/60Hz三相/200-220V，50/60Hz三相/200-220V，50/60Hz三相/200-220V，50/60Hz三相/200-220V，50/60Hz三相/200-220V，50/60Hz三相/200-220V，50/60Hz三相/200-220V，50/60Hz三相/200-220V，50/60Hz三相/200-220V，50/60Hz
400V 型号
三相/380-440V，50/60Hz三相/380-440V，50/60Hz--三相/380-440V，50/60Hz三相/380-440V，50/60Hz三相/380-440V，50/60Hz三相/380-440V，50/60Hz三相/380-440V，50/60Hz三相/380-440V，50/60Hz
重量公斤60609090100100120120170170

  • *规格参数仅供参考，可能因型号而异。

  • *详情请联系我们。
















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