产品型号
EST25N-优势代理厂商性质
经销商更新时间
2026-09-10浏览次数
59产品描述
EBARA 荏原EST25N干式无油螺杆真空泵 现货EST 系列是日本 EBARA 荏原面向半导体严苛工艺开发的水冷式干式无油螺杆真空泵，采用两级螺杆 + 罗茨增压一体化结构，标配耐蚀镍基材质，内置泵体高温保温功能，专门处理 CVD 等制程产生的粉尘、腐蚀性反应副产物，大抽速、高负载稳定性，广泛用于半导体、光伏等高洁净真空工艺。
产品型号
EST10N-优势代理厂商性质
经销商更新时间
2026-09-10浏览次数
77产品描述
EBARA 荏原EST10N干式无油螺杆真空泵 现货EST 系列是日本 EBARA 荏原面向半导体严苛工艺开发的水冷式干式无油螺杆真空泵，采用两级螺杆 + 罗茨增压一体化结构，标配耐蚀镍基材质，内置泵体高温保温功能，专门处理 CVD 等制程产生的粉尘、腐蚀性反应副产物，大抽速、高负载稳定性，广泛用于半导体、光伏等高洁净真空工艺。
产品型号
EST 系列-厂商性质
经销商更新时间
2026-09-10浏览次数
75产品描述
EBARA 荏原EST系列干式无油螺杆真空泵 现货EST 系列是日本 EBARA 荏原面向半导体严苛工艺开发的水冷式干式无油螺杆真空泵，采用两级螺杆 + 罗茨增压一体化结构，标配耐蚀镍基材质，内置泵体高温保温功能，专门处理 CVD 等制程产生的粉尘、腐蚀性反应副产物，大抽速、高负载稳定性，广泛用于半导体、光伏等高洁净真空工艺。
产品型号
EST800WN厂商性质
经销商更新时间
2026-08-22浏览次数
101产品描述
EBARA荏原EST系列重载型双级螺杆干式真空泵EST800WN 是 EST 系列超大流量重载双级螺杆干式真空泵，WN 镍合金强化防腐配置。面向半导体超大产能量产工况，泵腔镍合金耐蚀材质，配置泵腔高温控温，抑制氯化铵、硅化物固态副产物冷凝结块，适配超大流量、强腐蚀、高粉尘工艺排气抽取。
产品型号
EST500WN厂商性质
经销商更新时间
2026-08-22浏览次数
88产品描述
EBARA荏原EST系列重载型双级螺杆干式真空泵EST500WN 为 EST 系列超大流量重载双级螺杆干式真空泵，WN 为镍合金强化防腐配置。针对半导体量产严苛工况，泵腔镍合金材质，配置泵腔高温控温功能，抑制氯化铵、硅化物等固态副产物冷凝结块，适合超大流量、强腐蚀、高粉尘的工艺排气抽取。
相关文章
