简要描述：EBARA 荏原EST系列干式无油螺杆真空泵 现货EST 系列是日本 EBARA 荏原面向半导体严苛工艺开发的水冷式干式无油螺杆真空泵，采用两级螺杆 + 罗茨增压一体化结构，标配耐蚀镍基材质，内置泵体高温保温功能，专门处理 CVD 等制程产生的粉尘、腐蚀性反应副产物，大抽速、高负载稳定性，广泛用于半导体、光伏等高洁净真空工艺。

产品特点

1. 无油干式螺杆结构，全程无油润滑，不存在油返流污染，满足无尘车间生产要求；标配耐蚀镍铸铁材质，可额外选配镍涂层、镍合金强化方案，应对腐蚀性工艺气体与粉末沉积物。

2. 泵内高温控温设计，维持泵腔高温，防止反应副产物冷凝粘附泵腔，大幅减少积粉堵塞，降低停机维护频次，适配 CVD、ALD 等容易产生固态副产物的重负载工艺。

3. 智能转速可调控制，根据进气气体负载自动调节增压泵转速，在大气体流量工况下依旧稳定维持抽速与真空度；50Hz/60Hz 频率变化不影响抽气性能。

4. 一体化可编程 LCD 控制器，自带故障预警、报警记录存储功能，支持数字 / 模拟信号通讯，可与半导体工艺设备联动；满足 SEMI-S2、CE、NRTL 行业安全规范。

5. 水冷散热设计，整机结构紧凑，振动低、噪音小；全系列抽速覆盖广，从小试到大产能产线均有对应型号。

EST 系列主力型号清单

表格

核心技术参数

表格

适用范围

半导体 CVD、LPCVD、PECVD、HDP-CVD、ALD、RTP 薄膜沉积工艺；光伏镀膜制程；化工腐蚀性气体抽真空；会产生粉尘、固态副产物的高负载真空工艺。

标准配件

真空泵主机、集成控制单元、压力表；可选配件：进气粉尘过滤器、尾气处理配套组件、专用备件包。
EBARA 荏原EST系列干式无油螺杆真空泵 现货EBARA 荏原EST系列干式无油螺杆真空泵 现货

我司优势代理品牌：EBARA荏原、坂口电热 SAKAGUCHI、EYE岩崎、SEN日森、CCS晰写速、NPM日脉、REVOX莱宝克斯、SERIC索莱克、SONIC索尼克:、SANKO三高、TOKI东机产业、NEWKON新光、HAYASHI林时计、SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山电机、OHKURA大仓、UILVAC爱发科、TORAY东丽、ANALYZER第一热研、NFK南国工业株式会社、MATSUO松尾、NIKKATO日陶、HEIDON新东科学、JIKCO吉高、0TSUKA大塚电子、ITOH伊藤、日本MTL、THOMAS、kakuhunter写真化学、WATSON沃森、RIYYO理阳、ESSGES宜格斯、ATAGO爱拓、PFERD马圈、TEMITOP乐控TSUBAKI椿本、MIYUKI 美幸辉