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    EBARA 荏原EST800WN干式无油真空泵 现货EST 系列是日本 EBARA 荏原面向半导体严苛工艺开发的水冷式干式无油螺杆真空泵,采用两级螺杆 + 罗茨增压一体化结构,标配耐蚀镍基材质,内置泵体高温保温功能,专门处理 CVD 等制程产生的粉尘、腐蚀性反应副产物,大抽速、高负载稳定性,广泛用于半导体、光伏等高洁净真空工艺。
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    EBARA 荏原EST500WN干式无油真空泵 现货EST 系列是日本 EBARA 荏原面向半导体严苛工艺开发的水冷式干式无油螺杆真空泵,采用两级螺杆 + 罗茨增压一体化结构,标配耐蚀镍基材质,内置泵体高温保温功能,专门处理 CVD 等制程产生的粉尘、腐蚀性反应副产物,大抽速、高负载稳定性,广泛用于半导体、光伏等高洁净真空工艺。
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    EBARA 荏原EST300WN干式无油真空泵 现货EST 系列是日本 EBARA 荏原面向半导体严苛工艺开发的水冷式干式无油螺杆真空泵,采用两级螺杆 + 罗茨增压一体化结构,标配耐蚀镍基材质,内置泵体高温保温功能,专门处理 CVD 等制程产生的粉尘、腐蚀性反应副产物,大抽速、高负载稳定性,广泛用于半导体、光伏等高洁净真空工艺。
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    EBARA 荏原EST200WN干式无油真空泵 现货EST 系列是日本 EBARA 荏原面向半导体严苛工艺开发的水冷式干式无油螺杆真空泵,采用两级螺杆 + 罗茨增压一体化结构,标配耐蚀镍基材质,内置泵体高温保温功能,专门处理 CVD 等制程产生的粉尘、腐蚀性反应副产物,大抽速、高负载稳定性,广泛用于半导体、光伏等高洁净真空工艺。
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    EBARA 荏原EST100WN干式无油真空泵 现货EST 系列是日本 EBARA 荏原面向半导体严苛工艺开发的水冷式干式无油螺杆真空泵,采用两级螺杆 + 罗茨增压一体化结构,标配耐蚀镍基材质,内置泵体高温保温功能,专门处理 CVD 等制程产生的粉尘、腐蚀性反应副产物,大抽速、高负载稳定性,广泛用于半导体、光伏等高洁净真空工艺。
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