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2026-07-23 -
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ULVAC 爱发科 GR60A多级罗茨干式真空泵 GR60A 属于 ULVAC GR 系列通用工业型多级罗茨干式真空泵，依托成熟的 LR/HR 平台技术简化开发，主打通用洁净工况、高负载反复抽气场景
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ULVAC爱发科HR1200多级罗茨高温干式真空泵 一、产品概述 HR1200 是 ULVAC HR 系列超大流量高温防腐多级罗茨干式真空泵，为 HR600 的升级大抽速机型，属于 HR90 主机搭配 PRC-012A 机械增压泵的组合式干泵。延续 HR 系列标志性泵腔全域高温均热、无油干式架构，专门应对 12 寸晶圆、高世代面板产线刻蚀、CVD、ALD、等离子灰化工艺；针对制程产生升华副产物、卤
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ULVAC爱发科HR600多级罗茨高温干式真空泵 一、产品概述 HR600 是 ULVAC HR 系列大流量旗舰型高温防腐多级罗茨干式真空泵，为 HR300 的大抽速升级机型，延续 HR 系列泵腔恒温均热、无油干式的核心设计，重点解决半导体刻蚀、CVD、ALD 等制程产生升华副产物、卤素腐蚀性气体易结晶堵泵的问题，主要用于 12 寸晶圆量产线、大腔体薄膜工艺等高负荷工况，常温洁净对标型号为 LR6
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ULVAC爱发科HR300多级罗茨高温干式真空泵 一、产品概述 HR300 是 ULVAC HR 系列大抽速高温防腐型多级罗茨干式真空泵，延续 HR 系列泵腔恒温加热设计，无油干式结构，主打高温防凝、耐卤素腐蚀，主要适配 8/12 寸晶圆产线的刻蚀、CVD、ALD、等离子灰化等会产生升华副产物、轻度腐蚀性气体的重负载工艺，是 HR60、HR90 的大流量升级型号，常温洁净对标型号为 LR300。
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ULVAC爱发科HR90多级罗茨式高温干式真空泵 一、产品概述 HR90 属于 ULVAC HR 系列中型高温防腐多级罗茨干式真空泵，定位介于 HR60 与 HR300 之间，无油干式结构，搭载泵腔全域恒温均热系统。专门针对半导体刻蚀、CVD、ALD、等离子灰化工艺，这类工况会产生升华性副产物、卤素类轻度腐蚀气体；依靠高温腔体避免工艺介质冷凝结晶堵泵，广泛用作 6/8 寸晶圆设备中型腔体前级
