质量流量和体积流量的区别
更新时间：2026-09-04
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一句话区分
体积流量：数气体占了多大地方（升 / 分钟）
质量流量：数气体有多少个分子（克 / 分钟、摩尔 / 分钟）
核心差异
表格
| 对比项 | 体积流量 | 质量流量 |
|---|---|---|
| 统计对象 | 气体占据的空间大小 | 气体分子的总质量 / 数量 |
| 受压力影响 | 压力变大，同质量气体被压缩，体积变小，读数跟着变 | 只跟分子多少有关，压力变了读数不变 |
| 受温度影响 | 温度升高，气体膨胀，体积变大，读数跟着变 | 温度变了读数不变 |
| 常见单位 | SLM、L/min、m³/h | sccm、g/min、mol/min |
大白话举例
同一瓶氮气，压力从 1 个大气压升到 10 个大气压：
体积流量读数会变成原来的约 1/10（气体被压缩了，占的地方小了）
质量流量读数不变（瓶子里氮气分子总数没变）
为什么半导体工艺用质量流量
刻蚀、镀膜要按气体分子数量配比工艺气体，压力温度一变，体积流量就不准，配比乱了工艺就废了。MFC 测的是质量流量，压力温度波动不影响，配比稳定。
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