LINTEC 琳得科质量流量控制器功能

琳得科 MFC 分为气体热式 MFC、液体质量流量控制器两大品类，用于半导体、镀膜、分析仪器，实现流体质量流量高精度测量与闭环控制，不受压力、温度波动干扰。

基础核心功能

1. 流量检测：采用带环境温度补偿的热式传感器，检测气体质量流量；液体型号可选用热式或科里奥利传感方式，输出真实质量流量数值，区别于体积流量测量。2.PID 闭环流量调节：采集实际流量，对比上位设定值，驱动压电执行隔膜阀，自动调节阀门开度，稳定维持目标流量，完成持续反馈控制。3. 零点校准功能：支持本地或通讯下发零点校准，消除零点漂移带来的测量偏差。

附加内置功能

1. 流量斜坡功能：流量可平缓升降，避免流量骤变冲击工艺腔体。2. 流量累计功能：统计气体累计总出气量。3. 变量程功能：单台设备可切换不同流量量程，试验设备可减少备件数量。4. 多气体数据库：多气体机型支持现场切换气体种类，适配多种工艺气体。

通讯与输出功能

1. 模拟量：0‑5V 信号，完成设定输入、流量信号反馈。2. 数字通讯：RS‑485 为标配，可选 DeviceNet、EtherCAT，支持上位读取流量、报警、参数修改、零点校准等远程操作。

结构工艺带来的实用功能

1. 小死体积隔膜阀结构，流道死腔小，气体置换快，减少气体残留；金属密封版本适配腐蚀气体、高温工况。2. 无尘无颗粒结构，输出洁净气体，适配半导体刻蚀、CVD、ALD 工艺。3. 高温版本支持最高 120℃工况，可控制液化、升华类特殊气源。

报警监测功能

设备可监测异常工况，输出故障信号，包含零点异常、流量超限、硬件故障等状态反馈。

应用场景

半导体制造、化学气相沉积、原子层沉积、面板光伏、实验室分析仪器，同时可配套汽化器，对液态前驱体进行液体流量控制。