质量流量控制器的测量原理

热式 MFC 依靠毛细管上加热丝的热量变化实现气体质量流量检测。

1. 不锈钢毛细管外部缠绕两根加热丝，两根加热丝被加热至相同温度，沿着气体流动方向排布。2. 气体静止无流动时，毛细管上游、下游加热元件温度一致，热量处于平衡状态。3. 当气体开始流动，上游加热丝热量被流动气体带走，热量顺着气体流向下游，上下游温度平衡被打破。气体流量越大，上下游温差就越大。4. 毛细管搭配桥式电路，采集、对比上游与下游加热元件的电信号，捕捉温度差值。5. 将温度平衡的变化转化为电信号，换算得到对应的气体质量流量。

检测得到的流量信号输送给后端控制电路，和设定流量做对比，通过 PID 调节控制阀开度，形成闭环反馈，把实际流量稳定在目标数值。不同厂家的 MFC，传感器结构、技术设计会存在差异。

‑STOP：气体静止，温度分布对称。‑FLOW：气体流动，热量被气流携带向下游，温度曲线发生偏移。