热式质量流量控制器的结构和运行

典型热式质量流量控制器核心由流量传感器、控制阀、旁通流道三大部分构成，整套设备自动闭环反馈运行。

内部结构

1. 质量传感器：热式传感毛细管，内部流过部分气体，完成流量检测。2. 桥式回路：采集传感器的温度信号。3. 增幅回路：对微弱信号做放大处理。4.AD‑DA 转换器：完成模拟信号与数字信号互相转换。5. 演算回路（PID 运算单元）：对比设定流量与实际流量，输出控制信号。6. 阀门执行器（压电阀 / 电磁阀）：调节阀门开度，控制气体流量。7. 旁通流道：绝大部分气体由此流过，仅小部分气体分流进入质量传感器。

完整运行步骤

1. 质量传感器通电加热，检测流体流动，采集质量流量信号。2. 桥式电路把流量物理信号转换成电信号。3. 运算放大器对流量电信号做放大处理。4.AD/DA 转换器将信号转为数字信号。5. 计算电路对比设定流量和实际检测流量，算出偏差。6.PID 控制输出信号，驱动阀门执行器，调整阀门开合大小。7. 持续重复 1‑6 步，循环反馈控制，让实际流量稳定匹配设定值。

简单理解

一小部分气体流入加热的传感器测出真实流量，电路板拿实测流量和目标流量做对比，通过 PID 不断调阀门开度，不停循环修正，最终把气体稳定控制在设定流量。旁通流道承担大部分气体流通，传感器只取分流做检测。