什么是质量流量控制器？

质量流量控制器是一类流量控制装置，可以测量质量流量，并且自动把流量稳定控制在设定数值。

流量分为质量流量（重量）与体积流量（体积）两类。质量流量控制器可以精准测量、控制质量流量，测量结果不受温度、压力波动带来的干扰。多用于对工艺重复性、控制精度要求高的场景，典型如半导体制造、各类分析仪器。

主流两类测量传感器：

1. 热式传感器：依靠流体流动造成温度变化的原理实现质量流量测量，气体 MFC 使用最多。

2. 科里奥利传感器：检测流体振动产生的科里奥利力计算质量流量，液体、气体都可应用。

实际选型需要结合被测流体是气体还是液体，以及现场工况条件，选用对应的测量方案。

通俗解读

普通体积流量，压力升高、温度改变，读数就会跟着变；质量流量控制器统计气体物质多少，压力温度波动不影响测量结果，半导体特气用来精准配比工艺气体