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ULVAC爱发科CR60B-S风冷多级罗茨干式真空泵 典型应用场景 光电镀膜行业：中型溅射、蒸发镀膜设备 Load Lock 腔体前级抽气； 科研实验室：中型真空腔体、真空热处理炉、真空检漏台、小型蒸镀设备； 通用工业真空：中型腔体真空干燥、气体置换、洁净工况真空脱泡； 新能源行业：洁净工况电芯真空烘烤、原料脱气工序。
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ULVAC爱发科CR30B风冷多级罗茨干式真空泵 特征 排气室为非接触式，不使用油，可实现长时间稳定的排气。 由于不需要冷却水或氮气，因此有助于降低运行成本。 采用直流罐式电机可实现节能、气密性和减轻重量。 气体镇流装置允许排出水蒸气。 适用标准：CE、cTUVus
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ULVAC 爱发科CR16B风冷多级罗茨干式真空泵 特征 排气室为非接触式，不使用油，可实现长时间稳定的排气。 由于不需要冷却水或氮气，因此有助于降低运行成本。 采用直流罐式电机可实现节能、气密性和减轻重量。 气体镇流装置允许排出水蒸气。 适用标准：CE、cTUVus
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ULVAC爱发科GR180A多级罗茨干式真空泵 特点 可应用于大气真空间反复抽气的高负荷领域，可在高负荷下持续使用。 适用load lock室（装载/卸载室），可实现高吞吐量。 感应电机可通用 可以安装防爆电机等特殊电机（可选） 采用多电压兼容电机
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ULVAC爱发科GR90A多级罗茨干式真空泵 可应用于大气真空间反复抽气的高负荷领域，可在高负荷下持续使用。 适用load lock室（装载/卸载室），可实现高吞吐量。 感应电机可通用 可以安装防爆电机等特殊电机（可选） 采用多电压兼容电机
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