简要描述：Osaka Vacuum 大阪真空 TG1100F 涡轮分子泵- 型号：TG1100F
- 轴承结构：油脂润滑滚珠轴承，出厂预填润滑脂，无需日常补脂
- 进气法兰：VG200、ISO‑B200、CF200
- 排气接口：KF40
- 氮气抽速：1100L/s；加装保护网 1000L/s，氢气抽速 720L/s
- 极限真空：＜1×10⁻⁶Pa
- 极限压缩比：氮气 1×10⁸，氢气 1×10⁴
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Osaka Vacuum 大阪真空 TG1100F 涡轮分子泵Osaka Vacuum 大阪真空 TG1100F 涡轮分子泵

核心参数

• 轴承形式：油脂润滑滚珠轴承

• 氮气抽速范围：50‑2400L/s，覆盖从小型到大流量多种工况

• 极限真空：＜1×10⁻⁶Pa

• 安装特性：全姿态安装，倒立、侧装均可稳定运行

• 结构版本：控制器一体型、控制器分离型可选

• 特殊衍生型号：TG‑FS 耐磁场版本，适配强磁场工况，支持长距离线缆敷设

• 通讯：串行通讯接口，可对接设备控制系统，实现状态读取、故障报警

• 安全标准：CE、NRTL、SEMI‑S2

• 主流完整型号清单：TG50F、TG60F、TG220F、TG350F、TG450F、TG800F、TG1100F、TG1400F、TG2400F

产品特点

1. 油脂润滑滚珠轴承结构，出厂预填充润滑脂，运行过程无需补脂，大修维护周期 2‑3 万小时，日常维护工作量少，整机采购及运维成本更优。

2. 机身紧凑坚固，抗振动、抗冲击性能优异，支持任意角度安装，适配设备运动部件、移动型设备，整机布局设计自由度高。

3. 内置大气冲击耐受结构，可承受腔体意外冲入大气，降低破真空带来的泵体损伤；支持快速启动、快速破真空停机，适配产线高频次工艺节拍。

4. 同系列提供 TG‑FS 耐磁场机型，可在强磁场环境稳定运行，满足加速器等特殊设备需求；提供一体、分离两种控制器方案，适配不同机箱布线条件。

5. 多规格进气法兰可选，兼容 VG、ISO、CF 主流真空接口；转子压缩比高，可以稳定获取超高真空环境。

典型应用场景

半导体、FPD 平板显示零部件制程；光学镀膜、电子元器件热处理设备；电子枪、离子源排气；分析测试仪器；加速器、辐射装置；各类科研实验真空腔体。

选型提示：该系列不适合强腐蚀工艺气体，腐蚀工况选用 TG‑M 系列；追求无油磁悬浮结构，可选择 TGkine 系列。

配套配件

前级真空泵、真空法兰管件、对应型号控制器、通讯线缆