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ULVAC 爱发科HR60多级罗茨式高温干式真空泵 一、产品概述 HR60 属于 ULVAC HR 系列高温防腐型多级罗茨干式真空泵，无油干式结构，核心特色为泵腔全域高温均热设计，专门面向半导体刻蚀、CVD、ALD、灰化等工艺。这类制程会产生升华性副产物、卤素类轻微腐蚀气体，高温腔体能够防止工艺介质冷凝结垢堵泵；区别于 LS 洁净螺杆泵、MS 工艺螺杆泵，HR 系列主打恒温防凝工艺场景，多用于
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ULVAC 爱发科 LS1200A 螺杆式干式真空泵 一、产品概述 LS1200A 是 ULVAC LS 系列大型清洁型螺杆干式真空泵，拥有 C（洁净工艺款）、L（轻度工艺款）两种配置，无油干式结构，搭载爱发科自研 ECO‑SHOCK 节能系统，属于 LS 系列大抽速旗舰机型。主打高效节能、洁净抽气，适配少粉尘、无强腐蚀气体的大型真空产线，广泛用作大型镀膜设备、Load Lock 腔体、高产能真
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ULVAC 爱发科 LS600A 螺杆式干式真空泵 、一、产品概述 LS600A 属于 ULVAC LS 系列中大型清洁型螺杆干式真空泵，拥有 C（洁净工艺款）、L（轻度工艺款）两种配置，整机无油干式结构，搭载爱发科 ECO-SHOCK 节能技术。主打低能耗、洁净抽气，适合少粉尘、无强腐蚀气体的真空产线，广泛用作半导体镀膜设备、Load Lock 腔体、大型真空设备的前级真空泵，与 MS600A
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ULVAC 爱发科 LS300A 螺杆式干式真空泵 一、产品概述 LS300A 属于 ULVAC LS 系列清洁型螺杆干式真空泵，定位中型抽速机型，分为 C（洁净工艺款）、L（轻度工艺款）两种规格。整机无油干式结构，主打节能稳定运行，适配少粉尘、无强腐蚀气体的洁净真空工况，广泛用作半导体 Load Lock、镀膜设备、中型真空产线的主力前级真空泵，和 MS300A 耐蚀工艺机型形成工况互补。
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ULVAC 爱发科 LS120螺杆式干式真空泵 一、产品概述 LS120A 属于 LS 系列清洁型螺杆干式真空泵，主打大抽速 + 低功耗，分为 C（洁净工艺）、L（轻度工艺）两种规格，腔体无油设计，主要适配无尘、少粉尘、无强腐蚀的真空工况，是半导体 Load Lock、镀膜、真空封装这类洁净产线的主流配套干泵，和 MS120A 工艺耐腐款形成工况区分
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