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ULVAC 爱发科 MS1200A 螺杆式干式真空泵 一、产品概述 MS1200A 是爱发科 MS 系列大抽速工艺型螺杆干式真空泵，为 MS120A、MS600A 的大流量升级款，延续 MS 系列耐粉尘、抗轻度腐蚀的核心定位，无油干式结构设计，专门适配产生大量工艺粉尘、微量腐蚀性气体、可凝水汽的中大型真空产线，是泛半导体、大型锂电产线、真空热处理等高负荷工况的主力抽气设备。
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ULVAC 爱发科 MS600A 螺杆式干式真空泵 一、产品概述 MS600A 是 ULVAC 爱发科 MS 系列工艺型螺杆干式真空泵，延续 MS 系列耐粉尘、耐腐蚀的产品定位，相比 MS120A 拥有更大抽气能力，专为产生工艺粉尘、轻微腐蚀性气体、可凝蒸汽的中大型真空产线设计。无油干式结构，避免油品污染工艺腔体，广泛配套泛半导体、锂电池、等离子工艺、真空热处理设备。
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ULVAC 爱发科 螺杆式干式真空泵 一、产品概述 MS120A 属于 ULVAC MS 系列螺杆干式真空泵，2022 年正式推出，无油干式结构，专为含有粉尘、轻微腐蚀性气体、可凝蒸汽的工艺工况开发，区别于 LS 系列清洁型干泵，主打耐蚀、排粉能力，广泛配套半导体、锂电、等离子工艺设备。
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