简要描述：现货EBARA 荏原 ESA500W 干式真空泵属于 ESA 系列超大抽速水冷干式真空泵，多级罗茨无油干式结构，面向大型真空腔体高速抽空，兼顾氢气、氦气轻气体抽取性能。整机大流量输出，适配面板、半导体、新能源大型 Load‑Lock 量产腔体，支持 7×24 小时不间断量产运行。配备多路氮气反吹，抑制泵腔粉末副产物堆积，降低维护停机频次，适配产线 Sub‑fab 机房布置。

ESA 系列为水冷多级罗茨无油干式真空泵，主打轻气体抽取与大腔体快速抽空，适配洁净至轻度腐蚀工艺工况。整机无油设计，杜绝油污返流污染制程，运行稳定、振动噪音低，支持 7×24 小时连续量产作业。系列型号齐全，包含标准型、镍合金耐蚀型、MOCVD 外延专用机型，抽速覆盖广泛，适配半导体、光电、新能源多行业主流真空工艺，设备综合使用成本低、维护便捷。

现货EBARA 荏原 ESA500W 干式真空泵核心特点：

• 泵体类型：多级罗茨无油干式真空泵

• 冷却方式：水冷式

• 极限压力：5Pa

• 工作电压：三相宽电压适配 200V‑460V

• 机型分类：标准 W 型、镍合金耐蚀 WN 型、外延专用 D 型

• 抽速范围：1400‑80000L/min

• 适配工况：洁净、轻度腐蚀、轻气体、大腔体快速抽空工艺

工作原理：

依靠多级罗茨转子非接触式逐级压缩气体，全程干式无油压缩；水冷系统持续带走泵体运行热量，保障恒温作业；氮气反吹持续吹扫泵腔内部，避免粉末、杂质沉积；智能控制系统实时监测温度、负载、运行状态，自动匹配转速，异常工况自动报警保护，可对接产线控制系统实现联动运行。

典型应用场景：

半导体行业：MOCVD 外延生长、Load‑Lock 大腔体抽空、洁净 CVD 制程、精密真空传输腔体。光电行业：LED 芯片外延、液晶面板溅射镀膜、真空干燥、精密光学器件真空加工。新能源行业：光伏电池镀膜、扩散工艺、新能源材料真空制备。通用工业：大容积腔体快速抽真空、轻气体处理、洁净无油污要求的各类量产真空工艺。

选配配件：

粉尘捕集装置、冷凝回收组件、有机溶剂排气套件、氮气吹扫组件、通讯联控模块、外置水冷机组、过滤净化装置

规格：