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EBARA 荏原 EV‑M502N 多级罗茨干式真空泵型号：EV‑M502N 泵体结构：多级罗茨无油干式结构 防腐规格：N 型，腔体转子 Ni‑P 化学镍镀层，标准耐腐蚀 抽气速率：50000 L/min 极限真空：≤0.5 Pa 冷却方式：水冷，冷却水流量 5‑8L/min 供电：三相 AC200‑460V 50/60Hz 通讯：RS485 接口，温度监控、报警历史记录、远程状态读取 认证：SE
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EBARA 荏原 EV‑M302N 多级罗茨干式真空泵型号：EV‑M302N 泵体结构：多级罗茨无油干式结构 防腐规格：N 型，腔体转子 Ni‑P 化学镍镀层，标准耐腐蚀 抽气速率：30000 L/min 极限真空：≤5×10⁻¹ Pa 冷却方式：水冷 供电：三相 AC200‑460V 50/60Hz 通讯：RS485 接口，温度监控、报警历史记录、远程状态读取 认证：SEMI‑S2、CE、NRT
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EBARA 荏原 EV‑M202N 多级罗茨干式真空泵 型号：EV‑M202N 泵体结构：多级罗茨无油干式结构 防腐规格：N 型，腔体转子 Ni‑P 化学镍镀层，标准耐腐蚀 抽气速率：200000 L/min 极限真空：≤5×10⁻² Pa 冷却方式：水冷 供电：三相 AC200‑460V 50/60Hz 通讯：RS485 接口，温度监控、报警历史记录、远程状态读取 认证：SEMI‑S2、CE、N
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EBARA 荏原 EV‑M102N 多级罗茨干式真空泵 型号：EV‑M102N 泵体结构：多级罗茨无油干式结构 防腐规格：N 型，腔体转子 Ni‑P 化学镍镀层，标准耐腐蚀 抽气速率：100000 L/min 极限真空：≤5×10⁻² Pa 冷却方式：水冷 供电：三相 AC200‑460V 50/60Hz 通讯：RS485 接口，温度监控、报警历史记录、远程状态读取 认证：SEMI‑S2、CE、N
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EBARA 荏原 EV‑M20N 多级罗茨干式真空泵 型号：EV‑M20N 泵体结构：多级罗茨无油干式结构 防腐规格：N 型，腔体转子 Ni‑P 化学镍镀层，标准耐腐蚀 抽气速率：20000 L/min 极限真空：≤5×10⁻² Pa 冷却方式：水冷 供电：三相 AC200‑460V 50/60Hz 通讯：RS485 接口，温度监控、报警历史记录、远程状态读取 认证：SEMI‑S2、CE、NRTL
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