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2026-08-04 -
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EBARA 荏原 EV‑S20 罗茨干式真空泵EV‑S20 是 EBARA 荏原 EV‑S 系列小型紧凑型干式真空泵，无油水冷机型，主打洁净轻负载真空工艺。整机体积小巧，直流变频驱动，具备怠速休眠节能功能，无需前置泵，适配半导体负载锁腔、传输腔、中小型镀膜等洁净工况，适合对设备安装空间有约束的场景。
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EBARA 荏原 EV‑S20 罗茨干式真空泵EV‑S20 是 EBARA 荏原 EV‑S 系列小型紧凑型干式真空泵，无油水冷机型，主打洁净轻负载真空工艺。整机体积小巧，直流变频驱动，具备怠速休眠节能功能，无需前置泵，适配半导体负载锁腔、传输腔、中小型镀膜等洁净工况，适合对设备安装空间有约束的场景。
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EBARA 荏原 EV‑M1205SF 罗茨干式真空泵 型号：EV‑M1205SF 泵体结构：多级罗茨无油干式结构 防腐规格：SF 型，内腔 PFA 特氟龙涂层，强腐蚀工况专用 抽气速率：110000 L/min 极限真空：≤0.5 Pa 冷却方式：水冷，冷却水流量 5‑8L/min 供电：三相 AC200‑460V 50/60Hz 通讯：RS485 接口，温度监控、报警历史记录、远程状态读取
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EBARA 荏原 EV‑M805SF 多级罗茨干式真空泵型号：EV‑M805SF 泵体结构：多级罗茨无油干式结构 防腐规格：SF 型，内腔 PFA 特氟龙涂层，强腐蚀工况专用 抽气速率：80000 L/min 极限真空：≤0.5 Pa 冷却方式：水冷，冷却水流量 5‑8L/min 供电：三相 AC200‑460V 50/60Hz 通讯：RS485 接口，温度监控、报警历史记录、远程状态读取
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EBARA 荏原 EV‑M802N 多级罗茨干式真空泵 型号：EV‑M802N 泵体结构：多级罗茨无油干式结构 防腐规格：N 型，腔体转子 Ni‑P 化学镍镀层，标准耐腐蚀 抽气速率：80000 L/min 极限真空：≤0.5 Pa 冷却方式：水冷，冷却水流量 5‑8L/min 供电：三相 AC200‑460V 50/60Hz 通讯：RS485 接口，温度监控、报警历史记录、远程状态读取
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EBARA 荏原 EV‑M505SF 多级罗茨干式真空泵 型号：EV‑M505SF 泵体结构：多级罗茨无油干式结构 防腐规格：SF 型，内腔 PFA 特氟龙涂层，强腐蚀工况专用 抽气速率：50000 L/min 极限真空：≤0.5 Pa 冷却方式：水冷，冷却水流量 5‑8L/min 供电：三相 AC200‑460V 50/60Hz 通讯：RS485 接口，温度监控、报警历史记录、远程状态读取 认证
