简要描述：ULVAC 爱发科 MBD‑S 低温泵温度显示仪注意：MBD‑S不是冷冻泵本体，是爱发科 CRYO‑U 系列低温冷泵配套专用数字测温表（Cryo‑Meter），搭配 MBS‑C 低温热电偶探头使用，监控冷泵冷头两级温度。

ULVAC 爱发科 MBD‑S 低温泵温度显示仪

应用场景

半导体镀膜设备、光学蒸镀机、科研高真空腔体、FPD 生产设备，配套爱发科低温泵系统，实时监测冷泵冷头温度。

产品简介

MBD‑S 是替代老款 MBM 模拟表头的数字化升级机型，机架导轨嵌入式安装，可给 MBS‑C 热电偶探头供电，数字显示低温泵冷头开尔文温度，支持远程读取，用于半导体、镀膜设备的低温泵状态监测。

核心规格参数

• 显示方式：3 位数字数码管，单位 K（开尔文）

• 测温范围：10K‑350K（‑263℃ ~ +77℃）

• 测量精度：满量程 ±2%；10‑30K 低温区间精度 ±1K

• 输入电源：AC100V±10%

• 探头供电：内置 DC24V 输出，直接给 MBS‑C 热电偶供电

• 标配线缆：电源线 3m、模拟信号线缆 5m、MBS 供电线缆 5m

• 整机重量：520g

• 配套配件：MBS‑C 低温热电偶温度计（必须搭配使用）

产品特点

1. 小型数字化机身，机柜 DIN 导轨嵌入式安装，替换老式 MBM 模拟表。

2. 一机两用，既做温度显示仪表，同时为 MBS‑C 热电偶提供 DC24V 工作电源。

3. 可远程采集低温泵冷头温度数据，方便设备端监控冷泵降温、再生状态。

4. 低温段测量精度优秀，精准监控冷泵二级冷头工作温度，预判吸附能力与再生时机。

5. 适配 ULVAC CRYO‑U 全系列低温冷冻泵。