简要描述：ULVAC 爱发科CRYO‑U4H 闭循环低温冷冻泵CRYO‑U4H 属于紧凑型两级 GM 冷头闭循环低温泵，依靠低温冷凝、吸附获取洁净高真空，无需液氦耗材。机身小巧轻量化，为 4 英寸规格 ISO100 法兰，适配小型腔体、实验室设备、小型量产工艺，对水蒸气抽除表现突出

优势代理品牌：

产品简介

CRYO‑U 系列属于二级 GM 冷头式闭循环低温冷冻泵，依靠低温冷凝与吸附作用获取高真空、超高真空，运行过程无需补充液氦介质。型号覆盖从小型实验室腔体到大尺寸量产镀膜、半导体设备，对水汽、氢气抽除性能表现突出。整套设备由低温泵本体搭配氦压缩机组组成；可外接测温仪表与热电偶组件，监控冷头两级温度，支持外部信号接入，实现热再生流程控制。

全系列型号汇总

CRYO‑U4H、CRYO‑U6H、CRYO‑U8H、CRYO‑U8H‑U、CRYO‑U8HL、CRYO‑U8HSP、CRYO‑U10H、CRYO‑U10HL、CRYO‑U10HSP、CRYO‑U10PU、CRYO‑U12H、CRYO‑U12HL、CRYO‑U12HSP、CRYO‑U16、CRYO‑U16P、CRYO‑U20P、CRYO‑U22H、CRYO‑U30H

型号后缀释义

H：标准通用款；HL：加大吸附容量，拉长再生间隔；‑U：兼容替换老式低温泵设备；SP：溅射工艺优化版本，氩气耐受容量提升；PU：大吸附容量版本；P：大口径量产机型

全型号核心参数汇总

表格

产品特点

1. 规格覆盖完整，从小型实验室腔体到大型量产镀膜设备均可匹配，支持多台并联组合，进一步提升整体抽气能力。

2. 采用两级 GM 冷头结构，一级冷头拦截水汽，二级冷头完成氮气、氢气吸附，输出稳定洁净的高真空环境。

3. 衍生版本适配不同工况：SP 系列针对溅射氩气环境优化；HL 系列延长再生周期，减少停机维护频次；‑U 型号可直接用于老设备替换改造。

4. 支持热再生操作，既可本地手动执行，也可外接 PLC 系统完成自动化再生，同步输出设备运行状态信号。

5. 可搭配外置测温组件，读取冷头工作温度，用来预判吸附饱和节点，方便安排维护时机。

6. 振动抑制处理到位，降低振动对薄膜、光学镀膜工艺带来的干扰，可适配无尘车间作业环境。

应用场景

半导体工艺腔体、光学蒸镀设备、磁控溅射设备、面板生产设备、科研高真空系统、空间环境模拟装置。

使用注意

1. 泵本体无法单独运行，必须匹配对应规格氦压缩机组成套使用。

2. 内部吸附材料达到饱和状态后，必须执行热再生操作，否则抽速衰减，无法达到目标真空度。

3. 测温仪表、热电偶探头属于选配组件，需要单独订货采购。

4. 避免粉尘、颗粒直接冲入泵腔内部，防止损伤冷头吸附板面。

5. 选型参考：普通工艺选用 H；氩气溅射工况选用 SP；想要减少再生频次选用 HL；老旧设备替换选用‑U 后缀机型。

ULVAC 爱发科CRYO‑U4H 闭循环低温冷冻泵ULVAC 爱发科CRYO‑U4H 闭循环低温冷冻泵