产品型号
UTM2300A厂商性质
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2026-08-31浏览次数
73产品描述
ULVAC 爱发科UTM‑MI系列磁悬浮涡轮分子泵UTM2300A‑MI 属于 UTM‑MI 系列控制器一体化磁悬浮涡轮分子泵，五轴磁悬浮轴承结构，驱动控制单元集成在泵体底部，无需外置控制器，接线简单节省设备空间。转子无机械接触摩擦，振动极低，转速可在 25%‑100% 区间连续调节，以此调控腔体压力；支持任意方向安装，完成空气突入、跌落冲击可靠性验证，需搭配前级泵使用，多用于半导体设备、光学镀膜
产品型号
UTM1600A厂商性质
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2026-08-31浏览次数
85产品描述
ULVAC 爱发科UTM‑MI系列磁悬浮涡轮分子泵UTM1600A‑MI 属于 UTM‑MI 系列控制器一体化磁悬浮涡轮分子泵，五轴磁悬浮轴承结构，泵体集成驱动控制单元，无需外置控制器，布线简洁节省设备空间。转子无机械接触摩擦，振动极低，转速可在 25%‑100% 区间连续调节，以此调控腔体压力；支持任意方向安装，经过空气冲击、跌落可靠性验证，需要搭配前级泵使用
产品型号
UTM1200A‑MI厂商性质
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2026-08-31浏览次数
81产品描述
ULVAC 爱发科UTM‑MI系列磁悬浮涡轮分子泵UTM1200A‑MI 属于 UTM‑MI 系列控制器一体化磁悬浮涡轮分子泵，采用五轴磁悬浮轴承，泵体底部集成驱动控制单元，无需外置控制器，布线简单节省设备空间。无机械接触摩擦，振动极低，转速可在 25%‑100% 区间调节，以此实现腔体压力调控；支持任意方向安装，经过空气冲击、跌落可靠性验证，需要搭配前级泵使用，多用于半导体设备、光学镀膜
产品型号
UTM300B-厂商性质
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100产品描述
ULVAC 爱发科 UTM300B 涡轮分子泵UTM300B 为单体式涡轮分子泵，属于 UTM‑B 系列大抽速机型，泵体内部集成驱动控制模块，无需外置控制器，采用陶瓷球轴承转子，具备优秀背压耐受能力，可以搭配规格更小的前级泵。安装姿态不受限制，提供多种进气法兰可选，运行及停机状态碳氢回流少，保障腔体洁净，需要单独配置前级泵使用，分为自然风冷、强制风冷两种形式，多用于中型实验室、小型溅射蒸发设备
产品型号
UTM70B -厂商性质
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2026-08-31浏览次数
72产品描述
ULVAC 爱发科 UTM70B 涡轮分子泵UTM70B 属于 UTM‑B 系列单体涡轮分子泵，泵体内部集成驱动控制模块，不需要额外外接独立控制器，采用陶瓷球轴承转子，具备优秀的背压耐受能力，可以搭配规格偏小的前级泵使用。设备安装姿态不受限制，多种进气法兰可以按需选配，运行与停机状态油气回流少，可建立洁净高真空，需要单独配置前级泵使用，多用于小型实验设备、分析仪器、小型真空腔体等真空作业场景。
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