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ULVAC 爱发科 UTM300B 涡轮分子泵

简要描述:ULVAC 爱发科 UTM300B 涡轮分子泵UTM300B 为单体式涡轮分子泵,属于 UTM‑B 系列大抽速机型,泵体内部集成驱动控制模块,无需外置控制器,采用陶瓷球轴承转子,具备优秀背压耐受能力,可以搭配规格更小的前级泵。安装姿态不受限制,提供多种进气法兰可选,运行及停机状态碳氢回流少,保障腔体洁净,需要单独配置前级泵使用,分为自然风冷、强制风冷两种形式,多用于中型实验室、小型溅射蒸发设备

基础信息

产品型号

UTM300B-

厂商性质

经销商

更新时间

2026-08-31

浏览次数

98
详细介绍
品牌ULVAC/日本爱发科价格区间2万-3万
仪器种类分子泵产品类型无油泵
产地类别进口应用领域化工,电子/电池,航空航天,半导体,机械设备

优势代理品牌:

产品简介

UTM‑B 系列为陶瓷球轴承涡轮分子泵,泵体本体集成驱动控制模块,无需外接独立控制器,布线简单。拥有不错的背压耐受能力,可搭配规格更小的前级泵使用;进气法兰支持多种规格可选,安装方向不受限制,运行过程油气回流少,可获得清洁高真空。主力型号 UTM70B、UTM300B,分为自然风冷、强制风冷版本,适配实验室设备、分析仪器、小型镀膜、轻质气体排气等真空作业场景。

产品特点

  1. 泵体集成控制模块,省去外置控制器,减少接线,缩小真空系统占用空间。

  2. 陶瓷球轴承转子结构,运行稳定,维护简单,具备较好成本优势。

  3. 高背压耐受性能,允许较高前级压力,可选用小型前级泵,降低配套成本。

  4. 安装姿态不受限制,任意方向均可安装,设备设计布局自由度高。

  5. 多种进气法兰可选,VG、ICF、ISO‑K 三类法兰规格,适配不同真空管路。

  6. 油气抑制效果好,运行以及停机状态下碳氢回流少,保障真空腔体洁净度。

  7. 低噪音运行,工作噪音控制良好,适合室内实验环境使用。

  8. 可拓展烘烤配置,腔体增加烘烤脱气组件,可实现超高真空区间。

基础性能参数

主力型号:UTM70B、UTM300B轴承类型:陶瓷球轴承冷却方式:自然风冷 / 强制风冷UTM70B:氮气抽速 70L/s;进气法兰 VG65 / ICF114 / ISO63‑K;排气口 KF16UTM300B:氮气抽速 300L/s;进气法兰 VG100 / ICF152 / ISO100‑K;排气口 KF16电源:单相 AC100‑240V 50/60Hz极限真空:烘烤处理后可达 10⁻⁶Pa 级别使用环境温度:5‑40℃

应用场景

科研实验室真空主泵;各类分析仪器真空排气;小型蒸发、溅射设备;氢气、氦气等轻质气体排气。
ULVAC 爱发科 UTM300B 涡轮分子泵ULVAC 爱发科 UTM300B 涡轮分子泵


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