FLUORO 福乐伯努利夹头可以在高温下使用吗？

FLUORO 福乐 BC 系列伯努利夹头（伯努利卡盘）依靠气流悬浮实现晶圆非接触搬运，标准机型本体采用导电尼龙树脂，导向挡块为抗静电聚碳酸酯材质，属于工程塑料结构，不适合长时间处在高温环境当中。

标准机型温度边界

标准 BC 系列伯努利夹头，推荐环境使用温度：5‑45℃。

• 环境温度超过 60℃，树脂本体会出现蠕变、形变风险，喷气孔微小尺寸发生改变，直接破坏伯努利悬浮气隙，悬浮力不稳定，晶圆容易发生偏移、掉落。

• 高温还会造成导向环、限位挡块变形，定位精度下降；防静电性能也会随温度升高出现波动。

• 不可以直接抓取刚从高温工艺腔取出的热晶圆，工件表面高温会辐射传导至夹头本体，快速造成塑料部件损伤。

热晶圆如何处理

1. 晶圆需要先做降温，工件表面温度降到 45℃以内，再使用标准伯努利夹头拾取转运。

2. 禁止夹头伸入高温腔体内部作业；夹头只能布置在常温传输通道。

3. 如果现场存在热辐射，需要增加隔热挡板，阻隔热辐射传导至夹头本体。

高温工况可选方案

如果项目需要处理持续高温工件、或者需要进入高温腔周边，标准树脂款 BC 系列无法满足。可以做材质变更定制，把主体更换为金属、陶瓷材质，改造喷流结构，以此提升耐温能力。定制版本需要评估气路、喷口尺寸、重量、耗气量，悬浮性能参数会产生变化，需要做工况验证。

实操注意要点

1. 即便工件温度不高，如果设备腔体有热辐射，也要评估热传导，避免夹头局部过热。

2. 压缩供气气源本身温度不宜过高，高温压缩空气吹入夹头，同样会加热本体，改变悬浮效果。

3. 高温环境会加速塑料部件老化，即便短时勉强运行，也会缩短整机使用寿命。

主要应用场景

标准伯努利夹头适合切割工序、检测工序、镀膜后冷却完成的薄晶圆转运，适配 2‑12 英寸薄片、双面图形晶圆，在常温无尘产线发挥非接触搬运优势。